圓型磁控濺射陰極

圓型磁控濺射陰極：

 我們的圓形磁控濺射陰極作為已成為的新標準，具有的技術(shù)優(yōu)勢。

    多功能，緊湊型設計
    兼容各種形式的電源
    低阻抗頭提供了射頻，直流 ，中頻直流，直流脈沖，微波電源的兼容性。

標準配件
    我們使用ISO標準配件，以及金屬密封法蘭。所有附件的維護部分處于大氣中，并使用標準的O形圈密封，易于安裝及維護。

尺寸齊全 
    圓形磁控陰極可選從1到16英寸直徑的規格，標準或自定義配置。

快速，簡(jiǎn)便的更換靶材 
    我們的螺紋式靶材卡環(huán)和陽(yáng)極屏蔽罩允許你不使用輔助工具即可更換靶材。他們內置的可調節性也可以讓你輕松適應不同厚度的靶材。

高真空度，高功率 
    磁控管可以在極低的壓力（10-4 Torr）的范圍內操作， 的直接冷卻設計，可提供功率密度高達250 watts/in2 ( 30 watts/cm2 ) 。

高濺射速率，高性能
    更高的功率密度，濺射速率更快。在保持高濺射速率的同時(shí)，鍍膜面積和靶材利用率（通常在40％的范圍內）

優(yōu)秀的均勻性
    由于我們的異型磁鐵，我們的磁控管也提供更大的沉積均勻性 - 經(jīng)常在± 3-5 ％的范圍內。


    所有的磁控陰極對做工和用料的缺陷保修兩年。磁控陰極是我們的核心業(yè)務(wù)，我們隨時(shí)準備著(zhù)以確保您的滿(mǎn)意度。