圓柱形磁控陰極:
圓柱磁控陰極在鍍膜玻璃行業(yè)得到廣泛的的信任,提供了優(yōu)秀均勻性的同時(shí)實(shí)現靶材利用率?,F在,結構緊湊,重量輕,經(jīng)濟的圓柱形磁控陰極在平板顯示器、太陽(yáng)能電池、和Web涂層應用中實(shí)現。
定制設計
提供完整的組件,直徑從3英寸到6英寸。
經(jīng)濟和兼容的投資
采用了通用的和具有性?xún)r(jià)比的設計以適應任何類(lèi)型的靶材。而且它被設計成使用現成的組件,以實(shí)現廉價(jià)的、長(cháng)期的投資和可靠性。
技術(shù)
磁體技術(shù)創(chuàng )建一個(gè)源和工件之間的接近正常的沉積分布。改進(jìn)的沉積分布使得腔體上的碎片沉積減少。
此外,磁鐵陣列能提供更高的磁場(chǎng)強度,它允許以較低的功耗來(lái)達到常規的沉積速率。
節省材料,節約能耗
通常圓柱磁控陰極可以在相同面積上容納平面磁控陰極三倍的靶材。可進(jìn)一步提升85%的靶材利用率。另外,因為工作在較低的功率下,可以降低20%的功耗。
致力于幫助我們的客戶(hù)開(kāi)發(fā)生產(chǎn)力的和具有成本效益的薄膜應用,提供的磁控陰極,高品質(zhì)的沉積材料,全面的技術(shù)支持。我們隨時(shí)準備著(zhù)以確保您的滿(mǎn)意度。