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    電動(dòng)真空閥

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    產(chǎn)品型號EVB

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

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    更新時(shí)間：2023-02-11 18:19:13瀏覽次數：241次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    【停產(chǎn)產(chǎn)品】代替產(chǎn)品：IAVB系列通過(guò)馬達驅動(dòng)調整閥的開(kāi)度，實(shí)現了多種導率的電動(dòng)真空閥。行業(yè)半導體制造工序（前工序）半導體制造工序（后工序）

    詳細介紹

    【馬達驅動(dòng)，30點(diǎn)開(kāi)度設定】
    根據外部信號通過(guò)馬達驅動(dòng)調整開(kāi)度。
    最小間距0.15mm（NW25時(shí)）。
    簡(jiǎn)易的導率可變系統及真空控制的自動(dòng)化。

    【開(kāi)度監視功能、各種信號輸出功能】
    內置編碼器，可監視當前開(kāi)度。
    具備閥開(kāi)、閥閉狀態(tài)的動(dòng)作完成信號、報警輸出功能，使用更放心。

    型號 名稱(chēng) 配管方式 備注
    EVB※17電動(dòng)真空閥NW25, 40, 502021年03月31日
    銷(xiāo)售中止    舊的目錄

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