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    PF TEM原位加熱與電學(xué)芯片系統

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    透射電子顯微鏡是的提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子級空間分辨率的實(shí)驗手段

    詳細介紹


    透射電子顯微鏡是的提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子級空間分辨率的實(shí)驗手段。透射電子顯微鏡加熱與電學(xué)芯片系統是在標準外形的透射電鏡樣品桿內安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學(xué)測量芯片。微加熱芯片可對樣品進(jìn)行可控溫度的加熱,電學(xué)測量芯片可對樣品進(jìn)行電性質(zhì)測量。并可在進(jìn)行加熱和電學(xué)測量的同時(shí),動(dòng)態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結構、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征,極大拓展了透射電鏡的功能和應用范圍。


    本系統硬件包含兩部分:加熱和電學(xué)測量控制器及原位芯片樣品桿。軟件系統包括自動(dòng)控溫軟件和自動(dòng)電學(xué)測量軟件。















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