浚和（上海）儀器科技有限公司
員1.png)
浚和（上海）儀器科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地
紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話(huà)：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-01-08 07:51:30瀏覽次數：192次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)小型桌上型高頻等離子表面處理裝置
小型桌上型高頻等離子表面處理裝置。
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無(wú)需調節反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備數字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
● 平行平板腔體非常適合于實(shí)驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無(wú)需擔憂(yōu)因為腔體材質(zhì)的原因導致樣品受到污染。
■ 安全性·保護
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實(shí)時(shí)監測和了解機器的運轉狀態(tài)。
● 裝載有過(guò)電流漏電保護開(kāi)關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報警等安全功能。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀(guān)尺寸等要求。
●等離子清洗過(guò)程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤(pán)結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
■ 規格
| 型號 | PDC200 | |
| 方式 | RIE模式、平行平板腔體 | |
| 性能 | 發(fā)生器功率： | 0-300W |
| 發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
| 發(fā)生器匹配方式： | 自動(dòng)匹配（Auto matching） | |
| 構成 | 腔體材質(zhì)： | 鋁制 |
| 腔體內尺寸： | W400×D250×H150mm | |
| 反應氣體： | 二路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。 | |
| 控制方式： | 全自動(dòng)控制 | |
| 真空度顯示： | 數字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示腔體內真空度。 | |
| 配管材質(zhì)： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
| 門(mén)： | 鉸鏈門(mén) | |
| 外形尺寸： | W540×D600×H600mm | |
| 真空泵抽速： | 4m3/hour | |
| 電源規格： | AC220V 10A | |
| 重量： | 約100kg | |
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
紡織服裝機械網(wǎng) 設計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
