浚和（上海）儀器科技有限公司
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更新時(shí)間：2024-01-07 07:53:18瀏覽次數：181次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)高頻等離子表面處理裝置■操作性·功能●射頻13.56Mhz0-500W高功率機型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無(wú)需調節反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性
高頻等離子表面處理裝置 型號 PDC510 方式 RIE模式/DP模式 性能 發(fā)生器功率： 0-500W 發(fā)生器頻率： 射頻RF13.56Mhz 發(fā)生器匹配方式： 自動(dòng)匹配（Auto matching） 構成 腔體材質(zhì)： 一體成型鋁制腔體 腔體內尺寸： W500×D300×H200mm 電極尺寸： W400×D200 反應氣體： 二路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體 控制顯示方式： 液晶觸摸屏、全自動(dòng)控制 真空度顯示： 數字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示腔體內真空度。 反應氣體流量控制： MFC 質(zhì)量流量計 門(mén)： 鉸鏈門(mén)帶觀(guān)察窗 外形尺寸： W700×D700×H1285mm 真空泵： 干式真空泵 NEODRY 36E（油泵可選） 真空泵抽速： 36m3/h 電源規格： 三相200V 8A 重量： 約180kg
■操作性·功能
●射頻13.56Mhz 0-500W高功率機型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無(wú)需調節反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
●標準配備數字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
●一體成型鋁制腔體，腔體材質(zhì)結實(shí)可靠而且無(wú)需擔憂(yōu)因為腔體材質(zhì)的原因導致樣品受到污染。
■安全性·保護
●標準裝備自我診斷功能，可實(shí)時(shí)監測和了解機器的運轉狀態(tài)。
●裝載有過(guò)電流漏電保護開(kāi)關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報警等安全功能。
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●DP和RIE模式標準配備即可利用等離子的化學(xué)性質(zhì)又可以有效利用
其物理性質(zhì)，工藝應用范圍更加廣泛。。
●原則上所有材質(zhì)的樣品都可以進(jìn)行清洗，對清洗樣品材質(zhì)沒(méi)有要求。
●液晶觸摸屏控制，操作簡(jiǎn)單方便。
●標準配備產(chǎn)生等離子均勻性很好的平行平板電極。
●標準裝備多種安全功能，安全措施綿密。
■用途
●CSPBGACOB基板等離子清洗
●去除有機膜和金屬氧化膜
●印刷電路基板的干式清洗
●材料表面活化處理
●LDE封裝
■構成圖
■技術(shù)規格
●CSPBGACOB基板等離子清洗
●去除有機膜和金屬氧化膜
●印刷電路基板的干式清洗
●材料表面活化處理
●LDE封裝
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