浚和（上海）儀器科技有限公司
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更新時(shí)間：2024-01-06 07:51:01瀏覽次數：164次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)高頻等離子表面處理裝置
高頻等離子表面處理裝置。 型號 PR1000 方式 DP模式、圓柱形腔體 性能 發(fā)生器功率： 0-1000W 發(fā)生器頻率： 射頻RF13.56Mhz 發(fā)生器匹配方式： 自動(dòng)匹配（Auto matching) 構成 腔體材質(zhì)： 石英 腔體內尺寸： φ400×L500mm 約62.8L 反應氣體： 雙路工藝氣體，其中一路可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體，一路防腐蝕氣路支持CF4. 填充氣體： 一路氮氣 控制方式： 全自動(dòng)控制，7寸液晶觸摸屏 真空度顯示： 測量高真空的電離式真空計標準配備，實(shí)時(shí)顯示腔體內真空度 配管材質(zhì)： SUS不銹鋼以及特氟龍 門(mén)： 鉸鏈門(mén) 涂裝顏色： 標準色，白系 外形尺寸： W800×D919×H1958mm （高度含警報燈） 真空泵： 無(wú)油干式真空泵 抽速60m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25 電源規格： 3phase AC200V 50/60Hz 8A 重量： 約215kg 附屬品 真空管件一套、真空轉接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無(wú)需調節反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備電離式真空計，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
● 純凈石英腔體非常適合于實(shí)驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無(wú)需擔憂(yōu)因為腔體材質(zhì)的原因導致樣品受到污染。
■ 安全性·保護
● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實(shí)時(shí)監測和了解機器的運轉狀態(tài)。
● 裝載有過(guò)電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標準配備過(guò)電流漏電保護裝置。
● 發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問(wèn)題時(shí)，可自動(dòng)調低頻率來(lái)保護發(fā)生器。
● 門(mén)鎖開(kāi)關(guān)：門(mén)在未關(guān)閉時(shí)無(wú)法啟動(dòng)電源。
● 側板鎖：本體側板突然打開(kāi)或者未關(guān)好時(shí)，會(huì )停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
● 運行中ERR報警：運行中出現以下問(wèn)題設備會(huì )出現ERR報警，并停止裝置：RF輸出值與設定值不符，氣體流量值與設定值不符，RF反射波超過(guò)一定范圍，真空度未達到設定值，等離子處理后，設定時(shí)間內，未恢復到大氣壓。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀(guān)尺寸等要求。
●等離子清洗過(guò)程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤(pán)結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
規格：
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