大塚電子(蘇州)有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地蘇州市
紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話(huà):0571-88918531QQ:2568841715
聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間:2024-01-09 12:02:11瀏覽次數:152次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)即時(shí)檢測 WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于減薄制程中的厚度變化 (強酸環(huán)境中) 產(chǎn)品特色 非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測 采用分光干涉法實(shí)現高度檢測再現性 可進(jìn)行高速...
即時(shí)檢測
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板(強酸環(huán)境中)于減薄制程中的厚度變化
●非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測
●采用分光干涉法實(shí)現高度檢測再現性
●可進(jìn)行高速的即時(shí)研磨檢測
●可穿越保護膜、觀(guān)景窗等中間層的檢測
●可對應長(cháng)工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線(xiàn)或者設備中
●體積小、省空間、設備安裝簡(jiǎn)易
●可對應線(xiàn)上檢測的外部信號觸發(fā)需求
●采用膜厚檢測的獨自解析演算法。(已取得)
●可自動(dòng)進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項目)
規格式樣
SF-3 | |
---|---|
膜厚測量范圍 | 0.1 μm ~ 1600 μm※1 |
膜厚精度 | ±0.1% 以下 |
重復精度 | 0.001% 以下 |
測量時(shí)間 | 10msec 以下 |
測量光源 | 半導體光源 |
測量口徑 | Φ27μm※2 |
WD | 3 mm ~ 200 mm |
測量時(shí)間 | 10msec 以下 |
※1 隨光譜儀種類(lèi)不同,厚度測量范圍不同
※2 最小Φ6μm
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
紡織服裝機械網(wǎng) 設計制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
請輸入你感興趣的產(chǎn)品
請簡(jiǎn)單描述您的需求
請選擇省份
聯(lián)系方式
大塚電子(蘇州)有限公司