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    ZHDF獨立支撐氣浮光學(xué)平臺

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    ZHDF獨立支撐氣浮隔振光學(xué)平臺應用領(lǐng)域:適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領(lǐng)域應用產(chǎn)品特點(diǎn):■中弘精密依托于光電子產(chǎn)業(yè)科研工作人員,研發(fā)制造的一款通用性隔振光學(xué)平臺,能夠滿(mǎn)足精密負載對振動(dòng)隔離需求,且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案,改善振動(dòng)環(huán)境,以發(fā)揮設備儀器的效能

    詳細介紹

    ZHDF獨立支撐氣浮隔振光學(xué)平臺

    應用領(lǐng)域:

    適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領(lǐng)域應用

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    ■中弘精密依托于光電子產(chǎn)業(yè)科研工作人員,研發(fā)制造的一款通用性隔振光學(xué)平臺,能夠滿(mǎn)足精密負載對振動(dòng)隔離需求,且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案,改善振動(dòng)環(huán)境,以發(fā)揮設備儀器的效能。

    ■優(yōu)異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統,具備優(yōu)秀的固有頻率,對多個(gè)方向的振動(dòng)尤其是垂直方向有著(zhù)良好衰減效果,避免外界振動(dòng)干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。

    ■自動(dòng)調節水平功能:放置負載的位置發(fā)生變化,平臺迅速通過(guò)高精度閥門(mén)自動(dòng)調整空氣彈簧內部的氣壓,自動(dòng)保持水平。氣動(dòng)元器件全部執行德國FESTO產(chǎn)品標準,標配優(yōu)質(zhì)壓縮機。

    ■臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點(diǎn),上面板為1cr17優(yōu)質(zhì)高導磁不銹鋼,經(jīng)精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無(wú)反射、亞光效果,面板具有M6螺孔陣列,易于固定光學(xué)元件。

    ■隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成,整體堅固可靠。

    ■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過(guò)濾閥將保證空氣彈簧的長(cháng)期有效工作,用戶(hù)只需要將氣管連接進(jìn)氣口,就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能,氣源可通過(guò)小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場(chǎng)合使用。

    技術(shù)指標:

    ■平面度:< 0.05mm/m2

    ■表面粗糙度:< 0.8μm
    ■固有頻率;x方向:1.2Hz~2.0Hz y方向:1.2Hz~2.0Hz

    ■減振效率:x方向<5Hz時(shí):88%~94% y方向<5Hz時(shí):86%~92%

    x方向<10Hz時(shí):92%~98% y方向<10Hz時(shí):90%~95%

    ■振幅:< 1μm

    ■荷載能力:500kg/m2

    ■重復定位精度:±0.05mm

    產(chǎn)品選型表:

    規格型號

    長(cháng)-寬-高

    備 注

    ZHDF- 600x600x80

    600-600-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 750x750x80

    750-750-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 900x600x80

    900-600-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 1200x800x100

    1200-800-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 1500x1000x100

    1500-1000-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 1800x1200x150

    1800-1200-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 2000x1000x150

    2000-1000-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 2000x1200x150

    2000-1200-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 2000x1500x150

    2000-1500-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 2400x1200x200

    2400-1200-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 2400x1500x200

    2400-1500-800

    4支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 3000x1000x250

    3000-1000-800

    6支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 3000x1200x250

    3000-1200-800

    6支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 3000x1500x250

    3000-1500-800

    6支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 3500x1200x250

    3500-1200-800

    6支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 3500x1500x250

    3500-1500-800

    6支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 4000x1500x250

    4000-1500-800

    6支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 4500x1500x300

    4500-1500-800

    6支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 5000x1500x300

    5000-1500-800

    8支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 6000x1500x300

    6000-1500-800

    8支撐 M6螺孔孔距25mm

    ZHDF- 8000x1500x300

    8000-1500-800

    8支撐 M6螺孔孔距25mm


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