磐石創(chuàng )新（江蘇）電子裝備有限公司
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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地徐州市
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更新時(shí)間：2023-10-09 12:18:40瀏覽次數：110次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點(diǎn)，不同晶圓尺寸，可通過(guò)快速更換轉子來(lái)實(shí)現。是濕法清洗工藝的主要設備，設備本身有單腔室和雙腔室2種結構，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點(diǎn)，不同晶圓尺寸，可通過(guò)快速更換轉子來(lái)實(shí)現。是濕法清洗工藝的主要設備，設備本身有單腔室和雙腔室2種結構，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
GASS立式甩干機設備特點(diǎn)
· 可以快速拆卸更換轉子；
· 采用直驅式高性能無(wú)刷電機；
· 設備正常穩定工作時(shí)間≥95%，碎片率低于千分之一；
· 顆粒度增加值 <10 (0.3 micron)，甩干后表面無(wú)水漬、無(wú)污染物；
· 整機采用進(jìn)口PFA/PVDF/PTFE管件/噴嘴；
· 氣動(dòng)控制部件采用進(jìn)口SMC壓力開(kāi)關(guān)/電磁閥；
· 電源主空氣開(kāi)關(guān)帶漏電保護；
· 當設備出現異常時(shí),按急停按鈕可停機；
· 動(dòng)力條件監測及報警；
· 加熱系統超溫保護；
· 門(mén)禁/擺正監測報警。
技術(shù)參數
| 設備結構 | 單腔室 |
| 自動(dòng)化程度 | 全自動(dòng) |
| 清洗對象 | 2-8寸晶片 |
| 清洗能力 | 單腔室2-8寸/1籃，25片/藍 雙腔室2-8寸/2籃，25片/藍 |
| 配套花籃 | 對應轉子同尺寸Entegris(25pcs)花籃（可訂制） |
| 配套轉子 | 對應標準尺寸Entegris(25pcs)花籃（可訂制） |
| 馬達額定轉速 | 300-2800轉/min，馬達轉速：3000轉/min |
| 電氣控制方式 | 人機界面+ PLC可編程控制器（最多可存儲10套程序，每套程序8個(gè)步驟）可顯示并記錄最近10條報警內容 |
| 設備外形尺寸 | PS-1600：?jiǎn)吻皇?長(cháng)X寬X高(單位mm)= 720X450X1510 雙腔室-長(cháng)X寬X高(單位mm)= 820X450X1810 PS-1800：?jiǎn)吻皇?長(cháng)X寬X高(單位mm)= 760X520X1630 雙腔室-長(cháng)X寬X高(單位mm)= 860X520X1830 |
| 修面速度 | 0-250mm/min |
| 外形尺寸 | 1050mm x 1600mm x 1700mm |
| 設備重量 | 1800kg |
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