簡(jiǎn)介
制程片PL檢測模組可應用于制絨、擴散、刻蝕、PECVD工藝后，對過(guò)程片進(jìn)行缺陷檢測。
可安裝于刻蝕上料、PECVD下料、絲網(wǎng)上料處以及離線(xiàn)設備，結合客戶(hù)端現有設備實(shí)現剔除。
采用了特殊定制相機和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )算法相結合，可快速、準確地檢測出缺陷，檢測速率大大提升。
采用非接觸式的檢測方式，大大降低了在生產(chǎn)電池片各個(gè)工藝過(guò)程中的碎片率，是分析工藝問(wèn)題、提高成品率、降低成本的視覺(jué)檢測設備。為產(chǎn)品質(zhì)量提供了可靠的保障。
過(guò)程片
產(chǎn)品特性
產(chǎn)能大于4500片/小時(shí)
兼容多尺寸片源，更換尺寸無(wú)需更換硬件，降低人力及耗材成本
無(wú)接觸式檢測，不會(huì )對過(guò)程片造成二次損傷
提前篩選出問(wèn)題片，節約制造成本
自動(dòng)統計各類(lèi)缺陷、良品數量及比例
適用于制絨、蝕刻、擴散、PECVD等多種工序
技術(shù)指標
| 可檢測缺陷： | 隱裂、劃傷、污染、黑斑、吸盤(pán)印、皮帶印等 |
| 模塊產(chǎn)能： | ＞4500p/H |
| 相機類(lèi)型： | 高清紅外線(xiàn)掃工業(yè)相機 |
| 適用電池片規格 | 156至210mm(±0.5mm) ， 160~200μm |
缺陷對比圖
| PL | | | | | |
| EL | | | | | |
