SuperViewW白光干涉三維形貌輪廓儀納米級分辨率，非接觸式測量各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、干涉物鏡
不通倍率的鏡頭，適應于從超光滑到粗糙度各種表面類(lèi)型的樣品。
2、雙通道氣浮隔振系統
外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統，可有效隔離地面傳導的振動(dòng)噪聲。
3、聲波隔振防護
儀器外殼與內部運動(dòng)機構采用了分離式設計，有效隔離了聲波振動(dòng)的傳導。
4、水平調整裝置
傾斜調整旋鈕，調整條紋寬度，提高3D圖像的重建精度。
5、便攜式操縱桿
采用人體工程學(xué)設計，集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動(dòng)控制，并配有緊急停止按鈕。
6、真空吸附臺
專(zhuān)為半導體晶圓片定制的真空吸附臺，確保樣品在測量過(guò)程中不受空氣中微弱氣流擾動(dòng)的影像。
7、3D重建算法
自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統的配合下，測量精度可達亞納米級別。
產(chǎn)品功能
1)樣件測量能力：?jiǎn)我粧呙枘Ｊ郊纯蓾M(mǎn)足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類(lèi)型樣件表面的測量；
2)單區域自動(dòng)測量：?jiǎn)纹矫鏄悠坊蚺繕悠非袚Q測量點(diǎn)位時(shí)，可一鍵實(shí)現自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能；
3)多區域自動(dòng)測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區域測量點(diǎn)位，一鍵實(shí)現自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能；
4)自動(dòng)拼接測量；支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區域，支持數千張圖像的無(wú)縫拼接測量；
5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動(dòng)單測量功能，實(shí)現一鍵測量；
6)數據處理功能：提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；
7)數據分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
8)批量分析功能：可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類(lèi)型參數實(shí)現一鍵批量分析；
9)數據報表導出：支持word、excel、pdf格式的數據報表導出功能，支持圖像、數值結果的導出；
10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過(guò)程中的干涉條紋圖像；
11)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調節、光源亮度調節、急停等；
12)環(huán)境噪聲評價(jià)：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價(jià)功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設備調試和故障排查提供定量依據；
13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面傳導的振動(dòng)噪聲，確保測量數據的高精度；
14)光源安全功能：光源設置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長(cháng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì )自主降低熄滅光源，防止光源高亮過(guò)熱損壞，并有效延長(cháng)光源使用壽命；
15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護，軟件ZSTOP防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲；設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險。
自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro
Xtremevision Pro
全自主開(kāi)發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動(dòng)化測量等四個(gè)大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機型，可自主識別機型種類(lèi)，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式。
Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗，重構了顯微影像測量功能，可針對微觀(guān)平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線(xiàn)間的距離、角度、半徑等參數進(jìn)行直接測量和自動(dòng)匹配測量。
自動(dòng)化mark點(diǎn)識別坐標定位自動(dòng)化功能
Mark點(diǎn)影像識別自動(dòng)坐標位置校正，多區域坐標點(diǎn)自動(dòng)定位測量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測量。
自動(dòng)拼接功能
支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區域，支持數千張圖像的無(wú)縫拼接測量。
應用領(lǐng)域圖片
SuperViewW白光干涉三維形貌輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
部分技術(shù)指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統 | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
| 光學(xué)ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× | |
| 標準視場(chǎng) | 0.98×0.98㎜（10×） | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 手動(dòng)和電動(dòng)兼容型 | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| 臺階測量 | ||
| 可測樣品反射率 | 0.05%~100 | |
| 主機尺寸 | 700×600×900㎜ | |
如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。
