中圖儀器SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精細表面輪廓測量?jì)x器。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
產(chǎn)品功能
(1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；
(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；
(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
產(chǎn)品應用
SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。
應用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應用范例：
部分技術(shù)指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統 | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
| 光學(xué)ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× | |
| 標準視場(chǎng) | 0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學(xué)ZOOM 0.5×） | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| 臺階測量 | ||
| 可測樣品反射率 | 0.05%~100 | |
| 主機尺寸 | 700×606×920㎜ | |
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