中圖儀器SperViewW1白光干涉三維形貌儀主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。
結果組成：
1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線(xiàn)等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。
主要應用領(lǐng)域：
1、用于太陽(yáng)能電池測量；
2、用于半導體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。
SperViewW1白光干涉三維形貌儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。
產(chǎn)品功能
(1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；
(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；
(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
應用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應用范例：
部分技術(shù)指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統 | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× | |
| 光學(xué)ZOOM | 標配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× | |
| 物鏡塔臺 | 標配：3孔手動(dòng) 選配：5孔電動(dòng) | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
| 主機尺寸（長(cháng)×寬×高） | 700×606×920㎜ | |
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