標準型半導體檢測 TBM-600詳細技術(shù)參數
一、儀器用途
TBM-600 半導體檢測儀是檢測雙極型晶體管的基區寬度，半導體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線(xiàn)條長(cháng)、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀(guān)察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統，視場(chǎng)清晰?？捎糜诎雽w硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗，是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應用在工廠(chǎng)、實(shí)驗室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
采用無(wú)限遠光學(xué)系統及模塊化功能設計。長(cháng)工作距離明，視場(chǎng)大而清晰。廣角平場(chǎng)目鏡：視場(chǎng)直徑Ф22mm。粗微動(dòng)同軸調焦機構，粗動(dòng)松緊可調，帶限位鎖緊裝置，微動(dòng)格值:2μm。內置式可切換偏光觀(guān)察裝置，起偏器可360°旋轉。上光源采用翻蓋式12V50W鹵素燈箱，更換燈炮安全便捷，下光源采用12V/30W鹵素燈，加裝散熱片。三目鏡筒可自由切換目視觀(guān)察與顯微攝影，攝影時(shí)可99%通光。
三、技術(shù)參數
1.目鏡
| 類(lèi)型 | 放大倍數 | 視場(chǎng)(mm) |
| 平場(chǎng)目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類(lèi)別 | 放大倍數 | 孔徑數值 | 工作距離(mm) |
| 無(wú)限遠長(cháng)距平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 | |
| 20X | 0.40 | 7.2 | |
| 40X | 0.60 | 3.0 |
3.光學(xué)放大倍數：50X 100X 200X 400X
4.三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.雙層機械移動(dòng)式(尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm)
6.粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統：落射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片
透射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,內置視場(chǎng)光欄, 藍濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.濾色片：(黃,藍,綠,磨砂)
4.三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.雙層機械移動(dòng)式(尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm)
6.粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統：落射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片
透射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,內置視場(chǎng)光欄, 藍濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.濾色片：(黃,藍,綠,磨砂)
四、系統組成
(TBM-600):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數
TBM-600型：503500倍
六、選購件
1.目鏡: 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 80X 3.二維測量軟件
