高檔型半導體檢測 TBM-800詳細技術(shù)參數
一、儀器用途
TBM-800 半導體檢測儀是檢測雙極型晶體管的基區寬度，半導體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線(xiàn)條長(cháng)、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀(guān)察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統，視場(chǎng)清晰?？捎糜诎雽w硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗，是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應用在工廠(chǎng)、實(shí)驗室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
配置大視野目鏡和長(cháng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)，視場(chǎng)大而清晰。配置大移動(dòng)范圍的載物臺，能快速和慢速移動(dòng)。粗微動(dòng)同軸調焦機構，粗動(dòng)松緊可調，帶鎖緊和限位裝置，微動(dòng)格值:2μm。6V 20W鹵素燈,亮度可調。三目鏡筒,可自由切換正常觀(guān)察與偏光觀(guān)察，可進(jìn)行99%透光攝影。不僅可以在目鏡上作顯微觀(guān)察，還能在計算機顯示屏幕上觀(guān)察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。
三、技術(shù)參數
1.目鏡
| 類(lèi)型 | 放大倍數 | 視場(chǎng)(mm) |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類(lèi)別 | 放大倍數 | 孔徑數值 | 工作距離(mm) |
| 長(cháng)距平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 | |
| 20X | 0.40 | 7.2 | |
| 40X | 0.60 | 3.0 | |
| 80x | 0.80 | 1.2 |
3.光學(xué)放大倍數：50X 100X 200X 400X 800x
4.三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.五孔轉換器 (外向式滾珠內定位)
6.載物臺:三層機械移動(dòng)式，尺寸: 250mmX230mm,移動(dòng)范圍: 154mmX154mm
7.粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統：6V 20W鹵素燈,亮度可調；帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄,起偏振片,,
9.濾色片組：(黃,藍,綠,磨砂)
10.防霉系統
4.三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.五孔轉換器 (外向式滾珠內定位)
6.載物臺:三層機械移動(dòng)式，尺寸: 250mmX230mm,移動(dòng)范圍: 154mmX154mm
7.粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統：6V 20W鹵素燈,亮度可調；帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄,起偏振片,,
9.濾色片組：(黃,藍,綠,磨砂)
10.防霉系統
四、系統組成
(TBM-800):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數
TBM-800型:503500倍
六、選購件
1.目鏡:16X 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 100X 3.二維測量軟件
