主要特征:
三軸導軌均采用高精密天然花崗巖,具有相同的溫度特性及剛性
三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承,運動(dòng)更平穩,導軌受磨損
單邊驅動(dòng)活動(dòng)橋式結構,顯著(zhù)提高運動(dòng)性能,確保測量精度及穩定性
Y軸采用整體燕尾式導軌,有效消除了運動(dòng)扭擺,保證了測量精度及穩定性
歐洲開(kāi)放式金屬光柵尺,分辨率0.4 um
控制系統采用歐洲高速高精度自動(dòng)控制系統,該系統內嵌32位微處理器,真正實(shí)現實(shí)時(shí)控制
三軸均采用大功率驅動(dòng)器、電機及雙級減速裝置,確保傳動(dòng)迅速、準確
規格型號與技術(shù)指標:

三軸導軌均采用高精密天然花崗巖,具有相同的溫度特性及剛性
三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承,運動(dòng)更平穩,導軌受磨損
單邊驅動(dòng)活動(dòng)橋式結構,顯著(zhù)提高運動(dòng)性能,確保測量精度及穩定性
Y軸采用整體燕尾式導軌,有效消除了運動(dòng)扭擺,保證了測量精度及穩定性
歐洲開(kāi)放式金屬光柵尺,分辨率0.4 um
控制系統采用歐洲高速高精度自動(dòng)控制系統,該系統內嵌32位微處理器,真正實(shí)現實(shí)時(shí)控制
三軸均采用大功率驅動(dòng)器、電機及雙級減速裝置,確保傳動(dòng)迅速、準確
規格型號與技術(shù)指標:
