超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列
現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現有機型的觀(guān)察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩定的束流。
通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶(hù)支持功能，通過(guò)此功能用戶(hù)更容易理解各種復雜信號的檢測原理，幫助用戶(hù)充分發(fā)揮儀器的性能。
- *1
- Regulus8240/8230/8220
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特點(diǎn)
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規格
特點(diǎn)
- 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
- 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀(guān)察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀(guān)察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空樣品倉
- 運用能量過(guò)濾器(選配)，可觀(guān)察到多種成分對比度*2
極低著(zhù)陸電壓下高分辨觀(guān)察
樣品：金顆粒
著(zhù)陸電壓：10 V
超高分辨觀(guān)察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著(zhù)陸電壓：1.5 kV
- *2
- Regulus8240/8230/8220
規格
| 項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次電子分辨率 | 0.7 nm （加速電壓15 kV） 0.8 nm （著(zhù)陸電壓1 kV）*3 | 0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著(zhù)陸電壓 1 kV）*3 | |||||
| 著(zhù)陸電壓 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達臺（可選5軸馬達臺） | 5軸馬達驅動(dòng) | ||||
| 移動(dòng)范圍 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再現性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | |||
- *3
- 減速模式下觀(guān)察
- *4
- 以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率
關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類(lèi)
- 聚焦離子束系統 (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM樣品前處理裝置
