掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900
集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性，結合眾多的自動(dòng)化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀(guān)察。
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特點(diǎn)
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①多功能超大樣品倉
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②各種自動(dòng)化功能
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③測試需求的應用解決方案,探測器
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④觀(guān)察分子案例
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⑤應用圖例
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規格
特點(diǎn)
特徴
①SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀(guān)察
■樣品臺可搭載超大/超重樣品
- 通過(guò)更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品
- 選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
- 具備樣品臺移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
- 紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動(dòng)的安全性
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀(guān)察
- 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導航相機
- 覆蓋整個(gè)可觀(guān)察區域
- 支持360度旋轉
②隨著(zhù)各種自動(dòng)化功能的強化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
■各種自動(dòng)化功能
- 自動(dòng)調整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
- 提高了自動(dòng)聚焦精度
- 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■Multi Zigzag，可實(shí)現多區域的大視野觀(guān)察
■Report Creator，可利用獲得的數據批量生成數據報告
③可提供滿(mǎn)足測試需求的應用解決方案
■可滿(mǎn)足多種觀(guān)察需求的探測器
- 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀(guān)察
- 高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件
>■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測量軟件Image pro
*配件
①多功能超大樣品倉
①標配多功能超大樣品倉，支持大型樣品分析
■樣品臺可搭載超大/超重樣品
- 通過(guò)更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品
GUI上顯示更換樣品的操作步驟?？梢员苊庖蛉藶榈恼`操作而導致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品，也能夠輕松更換。
- 樣品交換倉*
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
- 具備樣品臺移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式，開(kāi)放了樣品臺移動(dòng)的自由度。操作人員可自行判斷，自由移動(dòng)樣品臺。
※選擇樣品臺自由模式時(shí)，請同時(shí)選配紅外CCD探測器。 - 紅外CCD探測器*，提高了樣品臺移動(dòng)的安全性
紅外CCD探測器是用于監控樣品倉內部的裝置。通過(guò)使用紅外線(xiàn)攝像機，可以在觀(guān)察SEM圖像的同時(shí)監視樣品倉內部情況。為了獲得更詳細的位置，放大CCD圖像，并且移動(dòng)觀(guān)察位置。
*配件
■支持全視野移動(dòng),SEM MAP支持超大樣品的全視野觀(guān)察
- 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導航相機
與GUI聯(lián)合的SEM MAP，正是因為采用了樣品倉室導航相機，才得以實(shí)現廣角相機導航功能*。在SEM MAP上觀(guān)察目標位置，可以順利地移動(dòng)到任意位置上。使用大視野相機導航系統拍攝的圖像或外部圖像，通過(guò)自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像。
*配件
- 覆蓋整個(gè)可觀(guān)察區域
相機導航系統通過(guò)圖像拼接功能可以實(shí)現大視野的SEM MAP觀(guān)察。觀(guān)察區域為直徑130mm（SU3800）/ 直徑200mm（SU3900），并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動(dòng)，移動(dòng)到大型樣品的觀(guān)察區域。
- 支持360度旋轉
SEM MAP操作界面可直觀(guān)的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系，因此在觀(guān)察高度差大的樣品時(shí)，可根據需求旋轉樣品臺或電子束來(lái)獲得的觀(guān)察分析位置，避免陰影效應造成的影響。
②各種自動(dòng)化功能
②隨著(zhù)各種自動(dòng)化功能的強化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
搭載了簡(jiǎn)約UI，簡(jiǎn)單操作，如同觸屏般直觀(guān)。
- 從移動(dòng)樣品臺到樣品觀(guān)察，輕輕點(diǎn)擊鼠標即可實(shí)現
- 也可觸屏操作
- 主窗口為1280x960像素的大窗口
- 可以切換顯示模式，并且同時(shí)顯示/拍攝兩種不同的信號
■各種自動(dòng)化功能
- 自動(dòng)調整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
樣品安裝完成后，通過(guò)自動(dòng)光路調整及各種自動(dòng)功能調整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動(dòng)化功能采用全新設計的演算程序，在執行圖像自動(dòng)調整功能時(shí)，等待時(shí)間縮短到以往的1/ 3以下。
- 采用了新的算法，提高了自動(dòng)聚焦精度
全新升級的自動(dòng)聚焦調整功能，即使是以往難以調整的光滑樣品，也能夠輕松得到良好的圖像。
- 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
自動(dòng)監視燈絲的狀態(tài)，自動(dòng)控制使其一直處于性能的狀態(tài)。
搭載顯示燈絲更換時(shí)間的顯示屏。
通過(guò)該功能，使得原來(lái)難以對應的長(cháng)時(shí)間連續觀(guān)察以及數據分析等大范圍分析均可以安心實(shí)現。
■Multi Zigzag*，可實(shí)現多區域的大視野觀(guān)察
Multi Zigzag可以自動(dòng)獲取連續的視野?？梢栽诓煌囊曇爸信臄z多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像，創(chuàng )建大視野圖像。
*配件
- Report Creator，可利用獲得的數據批量生成數據報告
在Report Creator中，可以將SEM圖像，EDS數據和CCD相機圖像等采集的圖像統一整合，生成報告。創(chuàng )建的報告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過(guò)Microsoft Office®進(jìn)行編輯。
③測試需求的應用解決方案,探測器
③可提供滿(mǎn)足測試需求的應用解決方案
■可滿(mǎn)足多種觀(guān)察需求的探測器
- 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀(guān)察
SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外，還可以通過(guò)檢測電子束照射樣品而產(chǎn)生的陰極熒光，來(lái)獲取CL信息。
- 高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像。
通過(guò)采用4分割+1單元的設計，對每個(gè)單元進(jìn)行計算，無(wú)需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設計十分精巧，且靈敏度高，實(shí)現了高分辨率和高信噪比。
■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件
SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀(guān)察。
■SEM/EDS一體化功能*
SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能，通過(guò)SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設置、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過(guò)SEM的全面控制，可以提高測試效率，減輕了操作人員的負擔。
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當中的4個(gè)不同方向的SEM信號進(jìn)行演算分析，生成三維圖像。支持2點(diǎn)間高度、體積和簡(jiǎn)易表面粗糙度（面粗糙度、線(xiàn)粗糙度）測量?？梢淮涡越邮账膫€(gè)不同方向的信號，因此，無(wú)需傾斜樣品臺或合成圖像。
■支持圖像測量軟件Image pro
SU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸到由美國Media Cybernetics公司開(kāi)發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下，即可將數據從SEM傳輸到圖像測量軟件。
④觀(guān)察分子案例
礦物的觀(guān)察分析案列
顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀(guān)察結果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認到暗 色區域是對應于錯濃度較高的區域。
⑤應用圖例
應用圖例
金屬材料
陶瓷材料
電子零件
生物/醫藥品
規格
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
|---|---|---|---|
| 二級電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續 | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 可觀(guān)察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| 可觀(guān)察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機驅動(dòng) | 5軸電機驅動(dòng) | ||
| 電子光學(xué)系統 | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈 | ||
| 檢測系統 | 二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調整功能 | 自動(dòng)光束調整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動(dòng)光軸調整（實(shí)時(shí)級別對齊） | |||
| 自動(dòng)調整光束亮度 | |||
| 自動(dòng)圖像調整功能 | 自動(dòng)亮度和對比度控制（ABCC） | ||
| 自動(dòng)對焦控制（AFC） | |||
| 自動(dòng)標記和焦點(diǎn)功能（ASF） | |||
| 自動(dòng)燈絲飽和度調整（AFS） | |||
| 自動(dòng)光束對準（ABA） | |||
| 自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 光機旋轉、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數據輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量、文本）、預設放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統■軟件:SEM數據管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線(xiàn)分析儀（EDS）、波長(cháng)色散X射線(xiàn)分析儀（WDS）、 各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺） | ||
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類(lèi)
- 臺式電子顯微鏡
- TEM/SEM樣品的前處理裝置
