簡(jiǎn)介
高性能MFC，為半導體行業(yè)量身打造
S300系列數字質(zhì)量流量控制器/流量計：采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級流量傳感器，結合精細拋光氣路結構以及高精度數字控制電路和算法，實(shí)現高精度、低零漂、高重復性控制。該產(chǎn)品配備現場(chǎng)顯示屏和地址編碼開(kāi)關(guān)，多種通訊方式可選、可定制全金屬密封，適配半導體、真空鍍膜、光伏及其它各類(lèi)應用環(huán)境 。
主要優(yōu)勢
S1 物理功能模塊豐富
頂部配置有豐富的功能模塊：
* RJ45數字通信接口(可定制
EtherCAT或RS485協(xié)議)
* 地址編碼開(kāi)關(guān)
* 現場(chǎng)顯示屏
* 狀態(tài)指示燈
此外，側面配置有M8航空供電接口，顯示直觀(guān)、操作簡(jiǎn)單，方便用戶(hù)進(jìn)行現場(chǎng)流量監測和控制。
S2 快速響應
1.5ms傳感器響應時(shí)間，0.1~0.5s儀表系統響應時(shí)間，及時(shí)捕捉微小流量變化。
S3 高精度
2.0%-百分F.S.全量程段保持高精度：
0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(＞30%F.S.)
S4 配備專(zhuān)用上位機
配備功能強大的SmartFlow上位機軟件，支持多臺聯(lián)動(dòng)，方便進(jìn)行監測和設備配置。
S5 認證產(chǎn)品
通過(guò)TüV國際機構CE&EMC認證，或JLY一級校準證書(shū)等，符合多項SEMI標準。
產(chǎn)品規格
* 除非另有說(shuō)明，本產(chǎn)品標定于以下條件：氮氣、溫度25℃、2.5bar差壓(進(jìn)氣口3.5bar絕壓對出氣口1bar
絕壓)、水平放置安裝。
* 建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能會(huì )引起精度產(chǎn)生偏差。
* 建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭，以避免導致額外的壓損。
1 所示量程為氮氣可選量程。
2 %F.S.指誤差占滿(mǎn)量程的百分比。
3 %S.P.指誤差占設定值的百分比。
4 響應時(shí)間指達到設定值±2%以?xún)人枰臅r(shí)間。
5 工作壓力指進(jìn)氣口與出氣口(1bar絕壓)之間的差壓，更多細節請聯(lián)系我們。
尺寸及通信
