熱式流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內的流量傳感器芯片技術(shù)，結合高速采樣處理技術(shù)和數字補償算法，所開(kāi)發(fā)的一款智能化、高精度可進(jìn)行準確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量?jì)x器、制氣配氣等行業(yè)。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數字通信方式。
半導體加工
分析和環(huán)保
燃燒控制器
真空技術(shù)
表面處理
食品和制藥
化工（石化）等過(guò)程控制
熱式流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn) Feature
溫度和壓力不敏感
*的零點(diǎn)穩定性
超快的響應速度
良好的重復性和再現性
多種信號輸出方式
配備進(jìn)口比例電磁閥
熱式流量控制器?產(chǎn)品規格
參數說(shuō)明 | |
介質(zhì)要求 | 潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體 |
介質(zhì)種類(lèi) | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 |
量 程 | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM |
精 度 | 讀數誤差的 1%或滿(mǎn)量程誤差的 0.8%，二者取最大值 |
分辨率 | 至低0.01SCCM |
響應時(shí)間 | ≤0.7S |
環(huán)境條件 | |
介質(zhì)溫度 | 0~50℃ |
工作溫度 | -20~70℃ |
工作濕度 | 10%~90%RH（無(wú)結冰，無(wú)凝露） |
工作壓力 | 0~1MPa |
儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數 | |
供電電壓 | DC24V，紋波 ≤50mV |
功 耗 | 2.4W |
啟動(dòng)時(shí)間 | <1s<> |
預熱時(shí)間 | <10ms<> |
通信接口 模擬信號（電流、電壓） | |
接口類(lèi)型 | D-SUB 9針 |
電流信號 | 4-20mA (線(xiàn)性對應量程) |
電壓信號 | 1-5V (線(xiàn)性對應量程) |
數字信號（RS485） | |
接口類(lèi)型 | RJ45、D-SUB 9針 |
通信速率 | 4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通過(guò)指令或者上位機修改） |
協(xié) 議 | RS485（默認Modbus-RTU，可定制私有協(xié)議） |
設備地址 | 1(默認)-250(可通過(guò)指令或者上位機修改) |
大節點(diǎn)數 | 250 |
機械參數 | |
接頭類(lèi)型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可選 |
主體材質(zhì) | 底座：316L不銹鋼，外殼：碳鋼 |
密封材質(zhì) | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.75kg |
尺寸圖 Dimension
安全使用
產(chǎn)品用于有害氣體或爆炸性氣體時(shí)，須嚴格按照產(chǎn)品使用說(shuō)明或咨詢(xún)公司技術(shù)人員。有關(guān)產(chǎn)品應用的新信息，請與廠(chǎng)家聯(lián)系索取或訪(fǎng)問(wèn)公司網(wǎng)站。強腐蝕性或氟化物氣體可能影響產(chǎn)品正常工作，甚至對產(chǎn)品造成毀損。產(chǎn)品經(jīng)過(guò)密封處理并在裝箱前進(jìn)行過(guò)防漏試驗，在高壓下使用必須按照產(chǎn)品使用說(shuō)明的限制，否則會(huì )導致泄漏及安全問(wèn)題。
注意：未經(jīng)公司許可，任意改動(dòng)或不當使用本產(chǎn)品可導致不可預見(jiàn)的損壞、人員傷害及其它有害后果，公司將不負任何責任。
產(chǎn)品保修
產(chǎn)品必須在說(shuō)明書(shū)規定的正常工作條件下，嚴格按照正確的方法安裝、使用并維護保養。產(chǎn)品質(zhì)量保證期，從發(fā)貨之日起提供365天免費保修。維修或更換的產(chǎn)品，保修期為 90 天或延續原保修期（以更長(cháng)者為準）。
芯笙微納電子科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)芯笙科技）不對安裝、拆卸及替換（但并不僅限于安裝、拆卸及替換）所導致的任何直接及間接損害和損失承擔任何責任。為避免不必要的糾紛，用戶(hù)應將其有疑問(wèn)的產(chǎn)品送還公司，公司對問(wèn)題進(jìn)行確認后，確定維修或替換。用戶(hù)承擔產(chǎn)品送交芯笙科技的費用及可能風(fēng)險，芯笙科技承擔產(chǎn)品送還客戶(hù)的費用及可能風(fēng)險。芯笙科技的所有銷(xiāo)售合同認定用戶(hù)自動(dòng)接受此保修條件及其中芯笙科技的有限責任。僅芯笙科技有權更改、修訂保修條件或決定不執行其條款。
注意，下列情況不適用保修條款：
1）產(chǎn)品被改變、改裝、處于說(shuō)明書(shū)規定的(或之外的)不正常環(huán)境及其它任何可被視為非正常使用的情況；
2）非本公司原裝產(chǎn)品。
對于產(chǎn)品拆封后的包裝箱體、填充材料、防靜電袋等廢棄物，請按照紙張、塑料和其他垃圾進(jìn)行分類(lèi)處理。對于達到使用壽命的產(chǎn)品，請參照國家對電子電器產(chǎn)品的相關(guān)報廢規定進(jìn)行處理。
