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青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區國際創(chuàng )新園，孵化自山東大學(xué)。公司以高端氣體質(zhì)量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售為主營(yíng)業(yè)務(wù)，通過(guò)自主創(chuàng )新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉化、行業(yè)整合等手段，實(shí)現快速發(fā)展，助力國家半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現有發(fā)明專(zhuān)利21項，實(shí)用新型專(zhuān)利12項，國家一級計量證書(shū)、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類(lèi)證書(shū)30余份，從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來(lái)自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院、山東大學(xué)、中科院、復旦大學(xué)等科研機構以及國內知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國內一流研發(fā)團隊。
????????公司獲評國家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專(zhuān)精特新”企業(yè)，承建有青島市先進(jìn)傳感器重點(diǎn)實(shí)驗室、青島市先進(jìn)氣體流量測控技術(shù)工程中心、青島市專(zhuān)家工作站等研發(fā)機構，并承擔多項科技部重點(diǎn)研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng )新工程、青島市重點(diǎn)項目等國家及省部級技術(shù)攻關(guān)課題。
????????公司現有千級和萬(wàn)級潔凈廠(chǎng)房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設有制造基地和研發(fā)中心，全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力，并提供專(zhuān)業(yè)的售前售后服務(wù)。
國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內的流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術(shù)和數字補償算法，所開(kāi)發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點(diǎn)。在輸出方面，帶有工業(yè)級液晶觸控顯示屏，具備流量設置、瞬時(shí)流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數字通信方式。
國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品應用于：半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過(guò)程控制
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