共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡

中圖儀器VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，具有很強的縱向深度的分辨能力，能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節，顯示出精細的細節圖像。它具有直觀(guān)測量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實(shí)現更準確的操作。

應用領(lǐng)域

測各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測，分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿(mǎn)足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設備具備表征微觀(guān)3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

不同應用場(chǎng)景下的3D形貌

VT6000共聚焦顯微鏡主要應用于半導體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀(guān)形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數的檢測中。

2)影像測量功能：設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長(cháng)度、角度、半徑等尺寸測量；

影像測量功能界面

3)自動(dòng)拼接功能：設備具備自動(dòng)拼接功能，能夠實(shí)現大區域的拼接縫合測量；

4)數據處理功能：設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；

5)分析工具功能：設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6)批量分析功能：設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現批量數據文件的快速分析功能；

7)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調節、光源亮度調節、急停等；

8)光源安全功能：光源設置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長(cháng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì )自主降低熄滅光源，防止光源高亮過(guò)熱損壞，并有效延長(cháng)光源使用壽命；

9)鏡頭安全功能：設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險。

自設計之初，VT6000便定下了“簡(jiǎn)單好用"四字方針的目標。

1）結構簡(jiǎn)單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動(dòng)，實(shí)現了“拎著(zhù)走"的便攜式設計；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；

3）操作便捷：采用全電動(dòng)化設計，并可無(wú)縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風(fēng)格，實(shí)現了所見(jiàn)即所得的快速檢測效果；

4）采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進(jìn)行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應對。

部分技術(shù)指標