深圳市科時(shí)達電子科技有限公司
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：CLS 5000 是傳統的氣體激光器，由于波長(cháng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫(xiě)，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。
：CLS 5000
是傳統的氣體激光器，由于波長(cháng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫(xiě)，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。
CLS 5000技術(shù)參數:
激光介質(zhì) | ArF | KrF | XeCl |
波長(cháng) (nm) | 193 | 248 | 308 |
脈沖能量 (mJ) | 15 | 25 | 12 |
重復頻率 (Hz) | 500 | ||
平均功率 (W) | 7.5 | 12.5 | 6 |
脈沖能量穩定度(sigma, %) | < 2 | ||
光斑尺寸 (VхH, mm) | 12 х 3.5 | 12 х 4 | 12 х 4 |
光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) | 2 х 1 | ||
脈沖持續時(shí)間 (FWHM, ns) | 10 – 12 | ||
冷卻方式 | 水冷 | ||
重量 (kg) | 85 | ||
尺寸 (LхWхH, mm) | 890 х 340 х 460 | ||
電源 | 220 V, 50-60 Hz, < 1000 VA | ||
可選功能和附件：
可能配置1000和2000赫茲
CLS 5000主要特點(diǎn)：
非常高的光束指向穩定性
高重復頻率
能量穩定性好
設計緊湊
內置能量控制
帶磁轉換發(fā)生器
應用：
布拉格光柵
無(wú)掩膜光刻
準分子材料加工
激光視力矯正
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