深圳市科時(shí)達電子科技有限公司
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：CL 7500CL 7500系列技術(shù)參數：激光介質(zhì)ArFKrF波長(cháng) (nm)193248脈沖能量 (mJ)100250重復率頻率。
：CL 7500
CL 7500系列技術(shù)參數：
激光介質(zhì) | ArF | KrF |
波長(cháng) (nm) | 193 | 248 |
脈沖能量 (mJ) | 100 | 250 |
重復率頻率(Hz) | ||
CL7520 | 20 | |
CL7550 | 50 | |
大平均功率 (W) | ||
CL7520 | 2 | 5 |
CL7550 | 5 | 12.5 |
沖能量穩定性(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 20 х 6 | |
光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) | < 0.2 х 0.2 | |
脈沖持續時(shí)間 (FWHM, ns) | 20 | |
線(xiàn)寬(pm) | < 3 | |
空間相干性(mm) | > 5 | |
時(shí)間相干性(mm) | > 10 | |
冷卻方式 | 水冷 | |
重量(kg) 沒(méi)有光學(xué)表 | 450 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 2000 х 800 х 750 | |
電源 | 220/380 V, 50 Hz, < 7000 VA | |
CL 7500主要特點(diǎn)：
MOPA激光系統(主振蕩器功率放大器)
由兩個(gè)激光器CL7020或CL7050基于單光平臺組成
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應用：
布拉格光柵
激光誘導熒光技術(shù)
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