深圳市科時(shí)達電子科技有限公司
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更新時(shí)間：2024-02-19 16:44:39瀏覽次數：86次
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: CL 5000 是傳統的氣體激光器，由于波長(cháng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫(xiě)，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。
: CL 5000
是傳統的氣體激光器，由于波長(cháng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫(xiě)，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。
CL 5000系列技術(shù)參數：
激光介質(zhì) | ArF | KrF | XeCl |
波長(cháng) (nm) | 193 | 248 | 308 |
脈沖能量 (mJ) | 20 | 40 | 25 |
重復頻頻率(Hz) | |||
CL 5100 | 100 | ||
平均功率 (W) | |||
CL 5100 | 2 | 4 | 2.5 |
脈沖能量穩定度(sigma, %) | < 2 | ||
光斑尺寸 (VхH, mm) | 12 х 3.5 | 12 х 4 | |
光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) | 2 х 1 | ||
脈沖持續時(shí)間 (FWHM, ns) | 8 – 12 | ||
冷卻方式 | |||
CL 5100 | 風(fēng)冷 | ||
CL 5200/5300 | 水冷 | ||
重量 (kg) | 80 | ||
尺寸 (LхWхH, mm) | 780 х 330 х 583 | ||
電源 | 220 V, 50 Hz, < 1000 VA | ||
可選功能和附件：
1000Kz型號可選
窄線(xiàn)寬型號可選，線(xiàn)寬0.03cm-1
F2，157nm型號可選
CL 5000系列主要特點(diǎn)：
陶瓷放電激光腔設計，長(cháng)壽命
激光腔，電子系統一體化設計
功率穩定運行模式
預混合供氣，使用簡(jiǎn)單
計算機控制
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