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:CL 7700 是傳統的氣體激光器,由于波長(cháng)短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫(xiě),LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。
:CL 7700
是傳統的氣體激光器,由于波長(cháng)短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫(xiě),LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。
CL 7700技術(shù)參數:
激光介質(zhì) | ArF | KrF |
波長(cháng) (nm) | 193 | 248 |
脈沖能量 (mJ) | 400 | 750 |
重復頻率 (Hz) | ||
СL 7720 | 20 | |
CL 7750 | 50 | |
平均功率 (W) | ||
СL 7720 | 7 | 15 |
CL 7750 | 14 | 35 |
脈沖能量穩定度(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 28 х 10 | |
光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) | 4.5 х 2 | |
脈沖持續時(shí)間 (FWHM, ns) | 20 | 25 |
冷卻方式 | 水冷 | |
重量 (kg) | 190 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 1430 х 380 х 760 | |
電源 | 220/380 V, 50 Hz, < 3500 VA |
CL 7700主要特點(diǎn):
高脈沖能量
閘流管開(kāi)關(guān)
功率穩定運行模式
內置的能量檢測器
預混料氣體,使用簡(jiǎn)單
計算機控制
應用:
材料加工
激光剝離
脈沖激光沉積技術(shù)
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