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    行業(yè)產(chǎn)品

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    深圳市汐品科技有限公司


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    超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

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    更新時(shí)間:2025-01-10 13:27:18瀏覽次數:57次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    核心理念采用優(yōu)異的成像技術(shù)SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。全新設計的電子光學(xué)系統和檢測系統,使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號,用戶(hù)可以在短時(shí)間內獲得更全面的樣品信息。采用多通道成像技術(shù)隨著(zhù)用戶(hù)對成像需求的不斷增長(cháng),SU7000特新增了幾種探測器,還引進(jìn)了相應的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號。實(shí)現了獲得樣品信息的。支持不同形狀樣品、多種觀(guān)察方法?大型樣品觀(guān)察?低真空觀(guān)察

    詳細介紹

    概述
    產(chǎn)品參數

    核心理念

    1. 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
      SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。全新設計的電子光學(xué)系統和檢測系統,使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號,用戶(hù)可以在短時(shí)間內獲得更全面的樣品信息。

    2. 采用多通道成像技術(shù)
      隨著(zhù)用戶(hù)對成像需求的不斷增長(cháng),SU7000特新增了幾種探測器,還引進(jìn)了相應的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號。實(shí)現了獲得樣品信息的。

    3. 支持不同形狀樣品、多種觀(guān)察方法
      ?大型樣品觀(guān)察
      ?低真空觀(guān)察
      ?超低溫觀(guān)察
      ?實(shí)時(shí)觀(guān)察
      等所需的樣品倉和真空系統都十分完備,觀(guān)察方法也是。

    4. 支持微納解析
      采用肖特基發(fā)射電子槍?zhuān)骺蛇_到200 nA,適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等,接口設備可通過(guò)選配附件滿(mǎn)足各種特殊需求。

    成像能力

    追求信息的檢測系統

    隨著(zhù)用戶(hù)對樣品數據的需求更加多元化,對檢測系統在短時(shí)間內捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統可以在不改變WD等條件的前提下,更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現了更快速、更全面的信息收集。

    產(chǎn)品參數
    項目內容
    圖像分辨率二次電子分辨率0.8 nm/15 kV
    0.9 nm/1 kV
    放大倍率20~2,000,000 x
    電子槍發(fā)射體ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射(肖特基熱場(chǎng)發(fā)射)
    加速電壓0.1~30 kV (步進(jìn):0.01 kV)
    束流200 nA
    探測器標準探測器UD (上探測器)
    MD (中探測器)
    LD (下探測器)
    選配探測器*1PD-BSED (半導體式背散射電子探測器)
    UVD(高靈敏度低真空探測器 )
    低真空模式*1樣品倉壓力范圍5~300 Pa
    可使用探測器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
    馬達臺馬達臺控制5軸馬達驅動(dòng)
    移動(dòng)范圍X0~135 mm
    Y0~100 mm
    Z(WD)1.5~40 mm
    T(傾斜角)-5~70°
    R(旋轉角)360°
    樣品尺寸直徑:φ200 mm, 高度:80 mm
    顯示器*123英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏
    圖像顯示模式全屏顯示模式1,280×960像素顯示
    單屏顯示模式800×600像素顯示
    雙屏顯示模式800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
    四屏顯示模式640×480像素顯示
    六屏顯示模式*2640×480像素顯示 *2
    圖像數據保存保存圖像尺寸640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
    選配附件能譜儀(EDX)
    X射線(xiàn)波譜儀(WDX)
    電子背散射衍射(EBSD)
    陰極熒光探測器(CL)
    冷凍傳輸系統
    各種功能樣品臺
    • *1

    • 為選配項。

    • *2

    • 支持雙屏顯示。

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