應用案例
* 零膨脹材料的研制
* 負極負熱膨脹材料的研制
* 標準材料開(kāi)發(fā)
* 致動(dòng)器材料的開(kāi)發(fā)
用途
* 10-9/K級極低膨脹系數材料(玻璃,陶瓷,金屬等)的高精度熱膨脹測量
* 半導體生產(chǎn)裝置光學(xué)曝光元件的測量
* 測量精密載物臺零件
* 航空航天相關(guān)高精度所需材料的測量
* 高精度光圖基板構件的測量
* 低膨脹系數材料的質(zhì)量控制
* 標準熱膨脹儀校準樣品的測量
特點(diǎn)
* 通過(guò)在設備中包括振動(dòng)消除機構,可以防止振動(dòng)擾動(dòng)的影響,并且可以在能夠穩定使用普通電子天平(0.01毫克分辨率)進(jìn)行分析的環(huán)境中進(jìn)行測量。(日本:2016-058190、058191、058192)
* 測量樣品相對于激光波長(cháng)(632.8 nm)的位移量。集成光學(xué)元件可以消除雜散光,提高干涉條紋信號的 信噪比。不需要特殊位移校準的測量和操作。
* 通過(guò)用圖像傳感器檢測干涉條紋并對其進(jìn)行圖像處理,即使在樣品測量過(guò)程中,也可以以高分辨率(1納 米)計算位移(膨脹/收縮)量,并確認膨脹系數。
* 符合JIS R3251-1990標準
設備參數
應用實(shí)例