SSA系列簡(jiǎn)易紅外金面退火爐
SSA系列是一款經(jīng)濟型紅外金面退火爐系統。該系統搭配了紅外金面爐,樣品支架以及用于氣氛控制的石英腔。
應用
1. 半導體化合物合金化
2. Si,半導體化合物的快速退火
3. 陶瓷基底薄膜材料的烘焙
4. 玻璃陶瓷基底的退火
特點(diǎn):
1. 流動(dòng)氣氛與真空石英腔可選(標配流動(dòng)氣氛)
2. 可選配同時(shí)兼具流動(dòng)氣氛與真空功能的石英腔
3. 通過(guò)USB連接,可通過(guò)電腦將溫控程序輸入到爐體。
4. 加熱期間可以通過(guò)電腦監測溫度數據
參數:
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