實(shí)驗室硅片檢測顯微鏡 TGB-900詳細技術(shù)參數
一、儀器用途
TGB-900 大平臺明暗場(chǎng)硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀(guān)察。本儀器配有大移動(dòng)范圍并能快速移動(dòng)的載物臺、落射照明器、長(cháng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時(shí)配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭。本儀器配有長(cháng)距平場(chǎng)消色差物鏡,使觀(guān)察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔” 的微觀(guān)形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括 顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象,使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中的檢測儀器之一。
硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括 顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象,使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中的檢測儀器之一。
二、技術(shù)參數
1.目鏡
類(lèi)型 | 放大倍數 | 視場(chǎng)(mm) |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
類(lèi)別 | 放大倍數 | 數值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
長(cháng)距平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 18.3 |
10X | 0.25 | 8.9 | |
20X | 0.40 | 8.7 | |
40X | 0.60 | 3.7 | |
80X | 0.80 | 0.96 |
3.光學(xué)放大倍數:50X 100X 200X 400X 800X
4.系統參考放大倍數:50X-2600X
5.落射照明器:6V/20W鹵素燈,亮度可調
6.濾色片組:黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.載物臺:(配有快速移動(dòng)裝置)
尺寸:250*230mm 移動(dòng)范圍:153*153mm[標配]
尺寸:274*274mm 移動(dòng)范圍:203*203mm[選配]
9.粗微同軸調焦機構,微動(dòng)手輪格值:0.002mm
10.瞳距調節范圍:53-75m
11.成像系統:高像素的CCD攝像頭
4.系統參考放大倍數:50X-2600X
5.落射照明器:6V/20W鹵素燈,亮度可調
6.濾色片組:黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.載物臺:(配有快速移動(dòng)裝置)
尺寸:250*230mm 移動(dòng)范圍:153*153mm[標配]
尺寸:274*274mm 移動(dòng)范圍:203*203mm[選配]
9.粗微同軸調焦機構,微動(dòng)手輪格值:0.002mm
10.瞳距調節范圍:53-75m
11.成像系統:高像素的CCD攝像頭
三、系統組成
(TGB-900):1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數
TGB-900:50--3800倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡: 10X(帶刻度) 3.物鏡:50X 60X 100X