高檔型硅片檢測顯微鏡 TGB-600詳細技術(shù)參數
一、儀器用途
TGB-600 大平臺明暗場(chǎng)硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀(guān)察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺、落射照明器、無(wú)限遠長(cháng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時(shí)配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭。本儀器配有暗場(chǎng)物鏡,使觀(guān)察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔”的微觀(guān)形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括:顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象,使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中的檢測儀器之一。
硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括:顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象,使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中的檢測儀器之一。
二、技術(shù)參數
1.目鏡
類(lèi)型 | 放大倍數 | 視場(chǎng)(mm) |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
類(lèi)別 | 放大倍數 | 數值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
明暗場(chǎng)無(wú)窮遠長(cháng)距平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
10X | 0.25 | 9.3 | |
20X | 0.40 | 7.3 | |
50X | 0.70 | 2.5 | |
80X | 0.80 | 1.25 |
3.光學(xué)放大倍數:50X 100X 200X 500X 800X
4.三目鏡30°傾斜,雙目瞳距調節范圍:53~75mm
5.五孔轉換器
6.調焦機構:粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值:0.8μm,
粗動(dòng)松緊可調,帶鎖緊和限位裝置
7.載物臺機械式尺寸:280mmX270mm;移動(dòng)范圍橫向(X) 204mm,縱向(Y) 204mm
8.偏光裝置起偏振器,可360度旋轉,可推拉切換 ;檢偏振器,可推拉切換
9.照明系統12V 50W鹵素燈,亮度可調
10.防霉:的防霉系統
11.成像系統:高像素的CCD攝像頭
4.三目鏡30°傾斜,雙目瞳距調節范圍:53~75mm
5.五孔轉換器
6.調焦機構:粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值:0.8μm,
粗動(dòng)松緊可調,帶鎖緊和限位裝置
7.載物臺機械式尺寸:280mmX270mm;移動(dòng)范圍橫向(X) 204mm,縱向(Y) 204mm
8.偏光裝置起偏振器,可360度旋轉,可推拉切換 ;檢偏振器,可推拉切換
9.照明系統12V 50W鹵素燈,亮度可調
10.防霉:的防霉系統
11.成像系統:高像素的CCD攝像頭
三、系統組成
(TGB-600):1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數
TGB-600:50--3800倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡: 10X(帶刻度) 3.物鏡:40X 60X