普通型硅片檢測顯微鏡 TGB-200詳細技術(shù)參數
一、儀器用途
TGB-200 硅片檢測顯微鏡主要用于太陽(yáng)能電池硅片的觀(guān)察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強,成像較清晰和寬闊,又具有長(cháng)工作距離,并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應的放大倍數,配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀(guān)形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽(yáng)能電池硅片的普遍專(zhuān)用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括 顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象,使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制最普通的儀器。
硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括 顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象,使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制最普通的儀器。
二、技術(shù)參數
1.目鏡
類(lèi)型 | 放大倍數 | 視場(chǎng)(mm) |
大視野目鏡 | 10X | Φ16 |
2.物鏡
類(lèi)別 | 放大倍數 | 數值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
平場(chǎng)消色差物鏡 (無(wú)蓋玻片) | 5X | 0.12 | 18.3 |
10X | 0.25 | 8.9 | |
40X | 0.60 | 3.7 | |
60X | 0.85 | 0.26 |
3.光學(xué)放大倍數:50X 100X 400X 600X
系統參考放大倍數:50X-4000X
4.載物臺:尺寸 185mm*140mm 移動(dòng)范圍 75mm*50mm
5.調焦系統:帶限位和調節松緊裝置的同軸粗微動(dòng) 微動(dòng)格值 0.002mm
6.濾色片組:轉盤(pán)式,黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.照明系統:6V/20W鹵素燈,亮度可調;220V(50Hz)
9.防霉:的防霉系統
10.成像系統:高像素的日本JVC攝像頭
系統參考放大倍數:50X-4000X
4.載物臺:尺寸 185mm*140mm 移動(dòng)范圍 75mm*50mm
5.調焦系統:帶限位和調節松緊裝置的同軸粗微動(dòng) 微動(dòng)格值 0.002mm
6.濾色片組:轉盤(pán)式,黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.照明系統:6V/20W鹵素燈,亮度可調;220V(50Hz)
9.防霉:的防霉系統
10.成像系統:高像素的日本JVC攝像頭
三、系統組成
(TGB-200):1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數
TGB-200:50--4000倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡: 20X 10X(帶刻度) 3.物鏡:20X 80X 10X干