標準型硅片檢測顯微鏡 TGB-500詳細技術(shù)參數
一、儀器用途
TGB-500 透反射式硅片檢測顯微鏡主要用于太陽(yáng)能電池硅片的觀(guān)察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強,成像較清晰和寬闊,又具有長(cháng)工作距離,并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應的放大倍數,配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀(guān)形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽(yáng)能電池硅片的普遍專(zhuān)用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象,使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制最普通的儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無(wú)機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象,使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制最普通的儀器.
二、技術(shù)參數
1.目鏡
類(lèi)型 | 放大倍數 | 視場(chǎng)(mm) |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
類(lèi)別 | 放大倍數 | 數值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
明暗場(chǎng)無(wú)窮遠長(cháng)距平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
10X | 0.25 | 9.3 | |
20X | 0.40 | 7.2 | |
40X | 0.60 | 3.7 |
3.光學(xué)放大倍數:50X 100X 200X 400X
4.三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.雙層機械移動(dòng)式(尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm)
6.粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統:落射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片,
透射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,內置視場(chǎng)光欄, 藍濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.防霉:的防霉系統
10.成像系統:高像素的CCD攝像頭
4.三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.雙層機械移動(dòng)式(尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm)
6.粗微動(dòng)同軸調焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統:落射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片,
透射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,內置視場(chǎng)光欄, 藍濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.防霉:的防霉系統
10.成像系統:高像素的CCD攝像頭
三、系統組成
(TGB-500):1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數
TGB-500:50--2000倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡: 20X 10X(帶刻度) 3.物鏡:50X 60X 80X 100X