TM4000 系列為 SEM 用戶(hù)提供了一種解決方案，可以輕松獲得高質(zhì)量的數據并快速生成報告，從而實(shí)現*效的工作流程。環(huán)b、*效的真空系統可縮短泵送時(shí)間和高樣品處理量?？扇菁{直徑可達 80 mm、厚度可達 50 mm 的樣品尺寸。
觀(guān)察圖像3分鐘?？裳杆佾@得所需數據，并制作報告。
觀(guān)察與分析的靈活性
自動(dòng)獲取各類(lèi)數據?？焖偾袚Q！
可快速獲得元素分布圖*2
*1TM4000PlusⅡ的功能。*2選配
使用Camera Navi*的話(huà)，就是如此簡(jiǎn)單
Camera Navi圖像讓您輕松找到視野，分布圖(MAP)功能全程支持您的觀(guān)察
*選配：Camera Navi系統
操作簡(jiǎn)單且快捷
觀(guān)察圖像只需 3 分鐘。
可快速觀(guān)察圖像，并導出測試報告。
Report Creator可讓您輕松制作報告
只需選擇圖像和模板，就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的報告
即便是jue緣物樣品，也無(wú)需預處理，就可直接進(jìn)行觀(guān)察
“靜電減輕模式”可抑制靜電現象
對于容易產(chǎn)生靜電的樣品，可使用“靜電減輕模式”，在抑制靜電的狀態(tài)下進(jìn)行觀(guān)察。
只需用鼠標在軟件上點(diǎn)擊即可切換到“靜電減輕模式”。
可在低真空的條件下進(jìn)行多種觀(guān)察
對于容易產(chǎn)生靜電的粉末或含水等樣品，可結合其目的進(jìn)行觀(guān)察。
可在低真空的條件下進(jìn)行二次電子像（表面形狀）觀(guān)察。
無(wú)需預處理，也可以觀(guān)察jue緣物和含水、含油樣品的表面
不僅是觀(guān)察傳統的導電性樣品，還可以在無(wú)預處理的條件下觀(guān)察jue緣物和含水、含油樣品?？煽焖龠M(jìn)行二次電子像與背散射電子像之間的切換。
高感度低真空二次電子檢測器
采用高感度低真空二次電子檢測器(UVD)。通過(guò)檢測由于電子線(xiàn)與殘留氣體分子之間的碰撞而產(chǎn)生的光，可以觀(guān)察帶有二次電子信息的圖像。
此外，通過(guò)控制該檢測器，來(lái)檢測電子照射所產(chǎn)生的光，可以獲得CL信息（UVD-CL：帶有CL信息的圖像）。
高感度低真空二次電子檢測器的檢測原理
可支持加速電壓20 kV
TM4000Ⅱ/TM4000Plus II可支持加速電壓20 kV。
憑借EDS分析（選配），可進(jìn)行更高計數率解析。
通過(guò)加速電壓20 kV，實(shí)現EDS元素分布圖的高S/N化
Multi Zigzag（選配）
可實(shí)現在廣域范圍內進(jìn)行SEM觀(guān)察。
搭配自動(dòng)馬達臺，可實(shí)現低倍率，高精度，大范圍的觀(guān)察分析。
EM 樣品臺（選配）
可輕松觀(guān)察 STEM 圖像
與全*開(kāi)發(fā)的 STEM 樣品臺和高靈敏度低真空二次電子檢測器(UVD)配合使用，可輕松觀(guān)察小倍率 STEM 圖像。
可輕松觀(guān)察薄膜樣品和生物樣品。
技術(shù)參數
| 項目 | TM4000PlusII | TM4000II |
|---|---|---|
| 倍率 | ×10～×100,000（照片倍率） ×25～×250,000（顯示器倍率） | |
| 加速電壓 | 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV | |
| 圖像信號 | 背散射電子 二次電子 復合圖像（背散射電子+二次電子） | 背散射電子 |
| 真空模式 | 導電體（僅背散射電子） 標準 靜電減輕 | 標準 靜電減輕 |
| 樣品可移動(dòng)范圍 | X：40 mm Y：35 mm | |
| *大樣品尺寸： | 80 mm（直徑） 50 mm（厚度） | |
| 電子槍 | 集中燈箱(Pre-Centered Catridge Filament) | |
| 檢測器 | 背散射電子：高感度4分割 背散電子檢測器 二次電子：高感度低真空 二次電子檢測器 | 背散射電子：高感度4分割 背散射電子檢測器 |
| 排氣系統 （真空泵） | 渦輪分子泵：67 L/s 1臺 隔膜泵：20 L/min | |
| 尺寸與重量 | 主體：330（寬度）×614（進(jìn)深）×547（高度） mm、54 kg（附帶馬達驅動(dòng)的樣品臺） 主體：330（寬度）×617（進(jìn)深）×547（高度） mm、54 kg（附帶手動(dòng)樣品臺） 隔膜泵：144（寬度）×270（進(jìn)深）×216（高度） mm | |
