專(zhuān)y掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與deguo CEOS GmbH公司共同開(kāi)發(fā)的球差校正儀，顯zhu提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合*級納米技術(shù)研究。由于球差校正系統校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標準型號顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。*近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)M(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí)，該型號系列還增加了一款不帶球差校正的主機配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級。
高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像
·HAADF-STEM圖像0.136 nm，FFT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
·HAADF-STEM圖像0.144 nm(標準鏡頭)
·明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)
高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍
·元素面分布更迅速及時(shí)
·低濃度元素檢測
操作簡(jiǎn)化
·自動(dòng)圖像對中功能
從樣品制備到觀(guān)察分析實(shí)現無(wú)縫連接
·樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容
配有各種選購件可執行各種評估和分析操作
·同時(shí)獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
·低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至*低)
·高精度放大校準和測量*
·實(shí)時(shí)衍射單元*(同時(shí)觀(guān)察暗場(chǎng)-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
·采用三維微型柱旋轉樣品桿(360度旋轉)*，具有自動(dòng)傾斜圖像獲取功能。
·ELV-3000即時(shí)元素面分布系統*(同時(shí)獲取暗場(chǎng)-掃描透射電子顯微鏡圖像)
技術(shù)參數
| 項目 | 描述 | ||
|---|---|---|---|
| 圖像分辨率 | w/o球差校正儀 | 保證 0.204 nm(當放大倍數為4,000,000時(shí)) | |
| w球差校正儀 | 保證 0.144 nm(當放大倍數為7,000,000時(shí))(標準鏡頭) | ||
| 保證 0.136 nm(HAADF圖像) 保證 0.105 nm(通過(guò)FFT)(當放大倍數為7,000,000時(shí))(高分辨率鏡頭*) | |||
| 放大倍數 | 100倍 至 10,000,000倍 | ||
| 加速電壓 | 200 kV, 120 kV * | ||
| 成像信號 | 明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡：相襯圖像(TE圖像) 暗場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡：原子序數襯度圖像(Z襯度圖像) 二次電子圖像(SE圖像) 電子衍射* 特征X射線(xiàn)分析和面分布(能譜分析)* 電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)* | ||
| 電子光學(xué)系統 | 電子源 | 肖特基發(fā)射電子源 | |
| 冷場(chǎng)致發(fā)射器* | |||
| 照明透鏡系統 | 2-段聚光鏡鏡頭 | ||
| 球差校正儀* | 六極鏡頭設計 | ||
| 掃描線(xiàn)圈 | 2-段式電磁感應線(xiàn)圈 | ||
| 原子序數襯度收集角控制 | 投影鏡設計 | ||
| 電磁圖像位移 | ±1 µm | ||
| 試片鏡臺 | 樣品移動(dòng) | X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm | |
| 樣品傾斜 | 單軸-傾斜樣品桿：±30°(標準鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭*) | ||
| 真空系統 | 3個(gè)離子泵，1個(gè)TMP | ||
| 極x真空 | 10-8 Pa(電子槍), 10-5 Pa(樣品室) | ||
| 圖像顯示 | 個(gè)人電腦／操作系統 | PC/AT兼容, Windows® XP | |
| 監視器 | 19-inch液晶顯示器面板 | ||
| 圖像幀尺寸 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素 | ||
| 掃描速度 | 快掃，慢掃(0.5至320秒/幀) | ||
| 自動(dòng)數據顯示 | 記錄序號，加速電壓，下標尺，日期，時(shí)間 | ||
