STK-7120 半自動(dòng)晶圓切割貼膜機特點(diǎn)： |
桌上型 |
適用于4”&5”&6”&8”晶圓 |
操作簡(jiǎn)便 |
STK-7120 半自動(dòng)晶圓切割貼膜機性能： |
晶圓收益 | ≥99.9% |
貼膜質(zhì)量 | 沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡） |
每小時(shí)產(chǎn)能 | ≥ 75片晶圓 |
更換產(chǎn)品時(shí)間 | ≤ 5分鐘 |
STK-7120 半自動(dòng)晶圓切割貼膜機規格參數： |
晶圓直徑 | 8”& 12” |
晶圓厚度 | 200 ~750微米 |
晶圓種類(lèi) | 硅, 砷化鎵或其它材料 單邊, V型缺口 |
膜種類(lèi) | 藍膜或者UV膜 寬度：300~400毫米 長(cháng)度：100米 厚度：0.05~0.2毫米 |
晶圓承載環(huán) | 8”DISCO 或者 K&S 標準 12”DISCO 或者 K&S 標準 客戶(hù)制定標準 |
貼膜原理 | 防靜電滾輪貼膜 |
晶圓臺盤(pán) | 可更換式防靜電涂層接觸式臺盤(pán)（8“和12”之間互換） 或硅膠臺盤(pán)；或多孔金屬臺盤(pán)；或陶瓷臺盤(pán) |
裝卸方式 | 晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出 |
防靜電控制 | 防靜電涂層晶圓臺盤(pán)/防靜電貼膜滾輪/防靜電離子發(fā)生器裝置 |
切割系統 | 手動(dòng)軌跡式圓切刀和直切刀 |
晶圓定位 | 通用標線(xiàn)／彈簧定位銷(xiāo) |
控制單元 | 基于PLC 控制，帶5.7”觸摸屏 |
安全防護 | 配置緊急停機按鈕 |
電源電壓 | 單相交流電220V,10A |
壓縮空氣 | 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺 |
機器外殼 | 白色噴塑金屬外殼 |
體積 | 670毫米(寬)*1110毫米(深)*880毫米(高) |
凈重 | 100公斤 |
