STK-6050 落地式高級自動(dòng)晶圓減薄貼膜機特點(diǎn)： |
4” - 8”晶圓適用 |
設計的滾輪貼膜 |
自動(dòng)膠膜進(jìn)給及貼膜 |
手動(dòng)晶圓上下料 |
自動(dòng)切割膠膜，省力 |
藍膜、UV 膠膜可選 |
PLC+觸摸屏 |
配置光簾保護功能，和緊急停機按鈕 |
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監控 |
STK-6050 落地式高級自動(dòng)晶圓減薄貼膜機性能： |
晶圓收益 | ≥99.9% |
貼膜品質(zhì) | 沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡） |
Cycle Time： | ≤ 45 秒（不包含上料/下料時(shí) 間） |
MTBF | >168小時(shí) |
MTTR | <1小時(shí) |
停機時(shí)間 | <3% |
更換產(chǎn)品時(shí)間： | ≤ 10 分鐘 |
STK-6050 落地式高級自動(dòng)晶圓減薄貼膜機參數： |
晶圓直徑： | 4”- 8”晶圓 |
晶圓厚度： | 100~750 微米 |
晶圓種類(lèi)： | 硅, 砷化鎵或其它材料/單平邊,雙平邊,V 型缺口； |
膜種類(lèi)： | 藍膜或者 UV 膜 |
貼膜方法： | 滾輪貼膜 |
晶圓臺盤(pán)： | 接觸式晶圓臺盤(pán) |
晶圓臺盤(pán)加熱： | 可達 120℃ (對應接觸式臺盤(pán)，可 選 |
晶圓放置精度： | X-Y: +/- 0.5 毫米； Θ : +/- 0.5°； |
裝卸方式： | 手動(dòng)晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測； |
防靜電控制： | 去離子風(fēng)扇 |
切割系統： | 自動(dòng)刀 |
控制單元： | 基于 PLC 控制，10.4”觸摸屏 |
電源電壓： | 單相交流電 220V,10A； |
壓縮空氣： | 60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺 |
燈塔： | 三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態(tài)監測 |
安全： | 配置安全光簾和緊急停機開(kāi)關(guān)； |
體積： | 950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) |
凈重： | 300 公斤 |
