二次電子圖象分辨率：1.0nm(30kV)
加速電壓：200V-30kV （減速模式下可低至 50V）
放大倍數：2~1,000,000
價(jià)格區間：200萬(wàn)-250萬(wàn)
TESCAN MIRA 是 TESCAN 推出的第四代高性能掃描電子顯微鏡，配置有高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)赥ESCAN 的 Essence™ 操作軟件的同一個(gè)窗口中實(shí)現了 SEM 成像和實(shí)時(shí)元素分析。這種結合大大簡(jiǎn)化了從樣品中獲取形貌和元素數據的過(guò)程，從而使得MIRA 成為質(zhì)量控制、失效分析和實(shí)驗室常規材料檢測的有效分析解決方案。
TESCAN MIRA 具有創(chuàng )新的光學(xué)設計，確保在需要時(shí)可以隨時(shí)無(wú)縫地選擇成像或分析條件，而無(wú)需對鏡筒內的任何元件重新進(jìn)行機械對中；借助集成的 Essence™ EDS 軟件，可以快速、輕松地從成像切換到分析操作模式，一鍵即可實(shí)現所有設置參數的更改。
主要特點(diǎn)
集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平臺，可在 Essence™ 軟件的同一個(gè)窗口中實(shí)現 SEM 成像和實(shí)時(shí)元素分析；
TESCAN 的無(wú)光闌光路設計及實(shí)時(shí)電子束追蹤技術(shù)(In-flight Beam Tracing™)，可快速獲得的成像和分析條件；
的大視野光路（Wide Field Optics™）設計，可實(shí)現最小放大倍率低至2倍，因而無(wú)需額外的光學(xué)導航相機，即可輕松、精確的對樣品進(jìn)行導航；
標配的 SingleVac™ 模式，不導電樣品或電子束敏感樣品無(wú)需噴鍍即可在此模式下直接進(jìn)行觀(guān)察；直觀(guān)的模塊化 Essence™ 軟件，無(wú)論用戶(hù)的經(jīng)驗水平如何，均可輕松操作；
Essence™ 3D 防碰撞模型，可確保樣品臺和樣品移動(dòng)時(shí)，安裝在樣品室內探測器的安全性；
可選配的鏡筒內 SE 和 BSE 探測器，以及電子束減速技術(shù)，更好的提升了低電壓下的成像性能；
標準分析平臺，可選配集成最多種類(lèi)的探測器和附件（如陰極熒光探測器，水冷背散射電子探測器或拉曼光譜儀等）。
中間鏡設計
MIRA 的鏡筒中增加了一個(gè)特殊的透鏡，使得電子束斑尺寸更小，進(jìn)而提升大束流下的分辨率。這個(gè)的透鏡--中間鏡 (Intermediate Lens™) 結合電子束追蹤技術(shù)(In-?ight Beam Tracing™)，可確保操作者設定的束流值與真實(shí)作用在樣品上的束流相一致。這對于需要大束流下進(jìn)行的分析應用如EDS/EBSD/WDS等，以及必須在相同條件下進(jìn)行重復實(shí)驗或表征的需求尤其重要。
更多的探測器和附件
TESCAN MIRA 可以安裝各類(lèi)附件以滿(mǎn)足特定的應用需求，同時(shí)還可以選配鏡筒內 SE 和BSE 探測器以及電子束減速技術(shù)，進(jìn)一步拓展了 MIRA 的分析能力，滿(mǎn)足當前和未來(lái)在亞微米尺度的表征需求。選配鏡筒內 SE 和 BSE 探測器后，即可同時(shí)獲得包括樣品室內SE、樣品室內BSE、鏡筒內SE及鏡筒內BSE的4種不同襯度信號。電子束減速技術(shù)則可提升其成像能力，尤其是在低電壓下的分辨率。
全新的 EssenceTM 電鏡控制軟件
采用 TESCAN Essence™ 多用戶(hù)電鏡操作軟件，具有快速搜索、操作步驟撤銷(xiāo)/重做和預設參數等功能，實(shí)現更高效的樣品分析和表征。用戶(hù)可以根據實(shí)際操作水平或特殊應用需求的不同在軟件中自定義界面布局。另外，Essence™ 防碰撞模型軟件虛擬出樣品室內部，直觀(guān)的顯示樣品室內的所有硬件的幾何關(guān)系，樣品臺的大小和位置，以及樣品和安裝的其它附件。
創(chuàng )新的 SingleVac TM 模式
SingleVac™ 模式是 TESCAN MIRA 的標配功能，TESCAN 已為此模式預設了真空值，荷電樣品無(wú)需噴鍍也可以使用背散射電子探測器直接觀(guān)察。同時(shí)還可以選配 UniVac™ 模式，該模式下可連續調節真空度至 700 Pa，用于放電、放氣及電子束敏感樣品的二次電子和背散射電子成像。
軟件：
· 測量軟件, 公差測量軟件
· 圖像處理
· 預設參數
· 直方圖及LUT
· SharkSEM™ 基礎版 (遠程控制)
· 3D 防碰撞模型軟件
· 對象區域
· 光電聯(lián)用
· 定時(shí)關(guān)機
· CORAL™（用于生命科學(xué)的電鏡模塊）
· 自動(dòng)拼圖軟件
· 樣品觀(guān)察
· TESCAN Flow™ (離線(xiàn)處理軟件)
根據實(shí)際配置和需求
