機床激光干涉儀sj6000集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時(shí)。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
在機床激光干涉儀sj6000動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。
產(chǎn)品功能
（1）可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；
（3）可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；
（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。
軟件特點(diǎn)
（1）友好的人機界面；
（2）豐富的應用功能模塊；
（3）向導式的操作流程；
（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。
激光干涉儀測量機床直角
如機器軸垂直度誤差測量（數控機床、坐標測量機等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過(guò)比較直線(xiàn)度值從而確定兩個(gè)標稱(chēng)正交坐標軸的非直角度，即在同一基準上對兩個(gè)標稱(chēng)正交軸分別進(jìn)行直線(xiàn)度的測量。然后對兩個(gè)軸的直線(xiàn)度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時(shí)反射鏡的光學(xué)準直軸，在兩次測量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調整，光學(xué)直角尺測量中，允許調整激光束與直線(xiàn)度的準直，而不動(dòng)直線(xiàn)度反射鏡。
典型情況下對于1.5米長(cháng)的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因為傳統的實(shí)物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長(cháng)度一般局限于1米的范圍內。
激光干涉儀對數控機床進(jìn)行螺距誤差補償
數控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償（jue對值）與記憶式螺距誤差補償（增量值）兩種，三菱和法那科系統就是增量值補償的代表之一。當采用激光干涉儀進(jìn)行增量值補償時(shí)，會(huì )遇到數據怎么對應補償點(diǎn)位置的問(wèn)題。
增量值補償時(shí)有幾個(gè)重要參數：
參考點(diǎn)：參考點(diǎn)也就是基準點(diǎn)。
zui負端：設定zui靠近負端的補償數據編號。
zui正端：設定zui靠近正端的補償數據編號。
補償倍率：寫(xiě)入機床系統補償量的生效倍率。
補償間隔：機床補償校準時(shí)的補償間距。
部分技術(shù)規格
| 穩頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線(xiàn)性測量距離 | (0~80)m (無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件) |
| 線(xiàn)性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線(xiàn)度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(cháng)距離(1.0~20.0)m |
| 直線(xiàn)度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(cháng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長(cháng)距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(cháng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線(xiàn)度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
長(cháng)垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長(cháng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
直線(xiàn)度附件：主要應用于Z軸的直線(xiàn)度測量和垂直度測量
懇請注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
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