SJ6000中圖高精度激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。
SJ6000中圖高精度激光干涉儀利用激光干涉現象來(lái)實(shí)現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)，在機床加工領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用。
產(chǎn)品應用
1.測量機床導軌的直線(xiàn)度和平行度。
導軌是機床中的重要零部件，直線(xiàn)度和平行度的誤差會(huì )直接影響機床的加工精度和穩定性。激光干涉儀可以通過(guò)測量導軌上的干涉條紋來(lái)確定其直線(xiàn)度和平行度的偏差，從而指導后續的優(yōu)化和調整。
2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。
機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過(guò)激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時(shí)進(jìn)行調整和修正，確保工件的加工精度和穩定性。
3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。
機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關(guān)鍵因素。通過(guò)激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求，從而為后續的機床調整和校準提供依據。
4.其它
除了上述應用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個(gè)部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過(guò)程中的變形和振動(dòng)情況，及時(shí)發(fā)現機床的故障和異常狀態(tài)，保證機床的穩定性和可靠性。
對數控機床進(jìn)行螺距誤差補償
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。
主要鏡組圖
其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
線(xiàn)性測量應用
SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。
部分技術(shù)規格
| 穩頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線(xiàn)性測量距離 | (0~80)m (無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件) |
| 線(xiàn)性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線(xiàn)度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(cháng)距離(1.0~20.0)m |
| 直線(xiàn)度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(cháng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長(cháng)距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(cháng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線(xiàn)度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
長(cháng)垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長(cháng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
直線(xiàn)度附件：主要應用于Z軸的直線(xiàn)度測量和垂直度測量
懇請注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
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