合肥真萍電子科技有限公司
員1.png)
合肥真萍電子科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地合肥市
紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話(huà)：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-12-16 10:22:01瀏覽次數：34次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)產(chǎn)品用途： 本產(chǎn)品主要面向SIC功率器件制造領(lǐng)域，在氮氣氛圍中對SIC/PI復合薄膜進(jìn)行600-1050℃的碳化處理，在碳化過(guò)程中，SIC納米粒子與PI作用形成化學(xué)鍵合，使其耐熱性得到提高。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.一體式人機操作系統，連續式自動(dòng)化生產(chǎn)，工作效率高，節約人工成本、電能及工藝時(shí)間；
2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；
3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理，確保潔凈度；
4.自帶自清潔功能——高溫清潔。
技術(shù)參數：
型號 | TASS15100D112-N0 | TASS20100D112-N0 | |||||
處理產(chǎn)品 | 6/8inch 晶圓 | 處理量 | 100PCS/管 | ||||
加熱器 | 圓形FEC加熱板 | ||||||
上料口 | 2個(gè) | 機械手 | 1 | ||||
溫度范圍 | 長(cháng)期使用溫度: 950℃，溫度：1200℃ | ||||||
升溫速率 | ＜8℃/min | 降溫速率 | ＜7℃/min | ||||
加熱功率 | 30kW(單爐) | 加熱溫區 | 3個(gè) | ||||
爐溫均勻性 | ±2℃（950℃恒溫） | 控溫熱偶 | K分度 | ||||
溫度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | ||||
爐膛材料 | 石英 | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | ||||
氣氛控制 | 多路流量計調節進(jìn)氣 流量計量程： 1）0-150L/min 氮氣 2）0-40L/min 氧氣 | 氣氛 | N2/O2 | ||||
排氣系統 | 在頂部設置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收 | ||||||
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
紡織服裝機械網(wǎng) 設計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
