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    HMDS預處理系統/HMDS涂膠機

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    HMDS預處理系統的優(yōu)點(diǎn):1、預處理性能更好,由于是在經(jīng)過(guò)數次的氮氣置換再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì )有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過(guò)100℃-200℃的去水烘烤,再接著(zhù)進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會(huì )降低,所以有著(zhù)更好的處理效果等;2、處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性;3、效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達4盒的晶片;4、更加節省藥液。實(shí)踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多;5、更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會(huì )出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個(gè)過(guò)程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會(huì )有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會(huì )對環(huán)境造成污染。

    詳細介紹

    技術(shù)參數:

    型號

    MD-40

    MD-15

    內膽尺寸

    450*450*450mm

    250*250*250mm(W*D*H)

    真空度

    150Pa;采用真空泵;

    加熱方式

    腔體外側四周加熱;

    溫度

    RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫精確可靠;

    控溫精度

    ±2%℃(200℃內);

    備注

    開(kāi)箱溫度可以由user自行設定來(lái)降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-90分鐘。


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