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    合肥真萍電子科技有限公司


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    單管全自動(dòng)立式爐（PI Cuer,退火，合金）

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    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地合肥市

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    更新時(shí)間：2024-12-16 10:25:50瀏覽次數：87次

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    經(jīng)營(yíng)模式：其他

    商鋪產(chǎn)品：28條

    所在地區：

    聯(lián)系人：張經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    產(chǎn)品用途： 集成電路圓片膠， BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC晶圓、CMOS、Bumping、TSV、 MEMS、指紋識別；集成電路圓片快速退火。

    詳細介紹

    產(chǎn)品特點(diǎn)：

       1.一體式人機操作系統，連續式自動(dòng)化生產(chǎn)，工作效率高，節約人工成本、電能及工藝時(shí)間；

       2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；

       3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理，確保潔凈度；

       4.自帶自清潔功能——高溫清潔。


    技術(shù)參數：

    型號

    TASF3075D107-N0

    TASF3075D207-N0

    TASF3075D407-N0

    處理產(chǎn)品

    8/12inch 晶圓

    處理量

    100/75PCS/管

    加熱器

    圓形FEC加熱板

    上料口

    4個(gè) 

    機械手

    1

    溫度范圍

    長(cháng)期使用溫度: 350℃，溫度：750℃

    升溫速率

    ＜8℃/min

    降溫速率

    ＜7℃/min

    加熱功率

    30kW(單爐)*2

    加熱溫區

    3個(gè)*2

    爐溫均勻性

    ±2℃（350℃恒溫）

    控溫熱偶

    K分度

    溫度控制方式

    SSR

    程序控制

    P.I.D控制

    爐膛材料

    石英

    保溫材料

    陶瓷纖維

    氣氛控制

    多路流量計調節進(jìn)氣

    流量計量程：

    1）0-150L/min  氮氣

    2）0-40L/min  氧氣

    氣氛

    N2/O2

    排氣系統

    在頂部設置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收



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