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    氨氣反轉爐

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地合肥市

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    所在地區：

    聯(lián)系人：張經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    應用介紹： 主要應用于化合物半導體，金屬電極，互聯(lián)線(xiàn)是用金屬剝離工藝，使光刻膠呈現倒梯形形貌，正常采用負膠工藝實(shí)現，因負膠有一定工藝難度和局部缺陷，例如分辨率不高，線(xiàn)寬均一性不好，倒梯形角度不穩定等因素。行業(yè)內大多采用氨氣條件反轉工藝，使用酚醛樹(shù)脂基的正膠，正膠曝光后會(huì )產(chǎn)生羧酸，氨氣中和酸，再進(jìn)行一次全面曝光，顯影后就可以形成倒梯形形貌，同時(shí)又保留正膠的分辨率和線(xiàn)寬穩定性。

    詳細介紹

    技術(shù)參數： 

    型號

    NH3D4

    內膽尺寸

    450*450*450mm；                                       

    真空度

    150Pa;采用真空泵；

    加熱方式

    腔體外側四周加熱；

     溫度

    RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫精確可靠；

    控溫精度

    ±2%℃（150℃內）；

    氨氣反轉工藝

    升溫達到設定值-抽真空-達到設定值-充氨氣-取產(chǎn)品-取后曝光機反面曝光。

    主要特點(diǎn)

    箱門(mén)閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內高真空度。工作室采用不銹鋼板制成，電解拋光，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。


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