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    高精度實(shí)時(shí)三維分析FIB-SEM三束系統 NX9000

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    追求理想的三維結構分析通過(guò)自動(dòng)重復使用FIB制備截面和進(jìn)行SEM觀(guān)察,采集一系列連續截面圖像,并重構特定微區的三維結構。采用的鏡筒布局,從材料、設備到生物組織——在寬廣的領(lǐng)域范圍內實(shí)現傳統機型難以企及的高精度三維結構分析。SEM鏡筒與FIB鏡筒互成直角,形成三維結構分析的鏡筒布局融合高亮度冷場(chǎng)發(fā)射電子槍與高靈敏度檢測系統,從磁性材料到生物組織——支持分析各種樣品通過(guò)選配口碑良好的Micro-sampling®系統*和Tripl...

    詳細介紹

    概述
    產(chǎn)品參數

    追求理想的三維結構分析


    通過(guò)自動(dòng)重復使用FIB制備截面和進(jìn)行SEM觀(guān)察,采集一系列連續截面圖像,并重構特定微區的三維結構。

    采用的鏡筒布局,從材料、設備到生物組織——在寬廣的領(lǐng)域范圍內實(shí)現傳統機型難以企及的高精度三維結構分析。

    • SEM鏡筒與FIB鏡筒互成直角,形成三維結構分析的鏡筒布局

    • 融合高亮度冷場(chǎng)發(fā)射電子槍與高靈敏度檢測系統,從磁性材料到生物組織——支持分析各種樣品

    • 通過(guò)選配口碑良好的Micro-sampling®系統*和Triple Beam®系統*,可支持制作高品質(zhì)TEM及原子探針樣品

    產(chǎn)品參數
    項目內容
    SEM電子源冷場(chǎng)場(chǎng)發(fā)射型
    加速電壓0.1 ~ 30 kV
    分辨率2.1 nm@1 kV
    1.6 nm@15 kV
    FIB離子源
    加速電壓0.5 ~ 30 kV
    分辨率4.0 nm@30 kV
    束流100 nA
    標準探測器In-colum二次電子探測器/In-colum背散射電子探測器/
    樣品室二次電子探測器
    樣品臺X0 ~ 20 mm *2
    Y0 ~ 20 mm *2
    Z0 ~ 20 mm *2
    θ0 ~ 360° *2
    τ-25 ~ 45° *2
    樣品尺寸正方形邊長(cháng)6 mm × 厚度2 mm
    • *2:

    • 根據樣品座不同,行程不同

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