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    高性能聚焦離子束系統 MI4050

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    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地深圳市

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統：新型電子光學(xué)系統，可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀(guān)察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。

    詳細介紹

    概述
    產(chǎn)品參數

    MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統：新型電子光學(xué)系統，可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
    可用于截面加工觀(guān)察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。


    產(chǎn)品參數
    項目內容
    樣品尺寸50mm×50mm×12mm（t）以下
    樣品臺5軸電動(dòng)機械優(yōu)中心馬達臺
    加速電壓1～30kV?。?.5kV～　選配）
    （0.5～1.0kV ： 步長(cháng)0.1kV）
    （1.0～2.0kV ： 步長(cháng)0.2kV）
    二次電子分辨率4nm＠30kV
    探針電流90nA
    探針電流密度50A/cm2


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