多工位磁控濺射鍍膜機可同時(shí)放置多片基片，適應研發(fā)線(xiàn)或中試線(xiàn)的小批量生產(chǎn)。矽碁提供的可公轉基片載臺方便客戶(hù)靈活調整各基片對應不同靶位。預裝矽碁自主研發(fā)的工業(yè)級全自動(dòng)控制系統，設備可按預設工藝流程進(jìn)行自動(dòng)生產(chǎn)。工藝重復性?xún)?yōu)于 ±3%，有效保證生產(chǎn)穩定性。
技術(shù)參數：
1 本底真空10-7 Torr；
2 多基片設計，數量、尺寸可定制；
3 基片臺可公轉、自轉并加熱：300℃/500℃/800℃；
4 最多可拓展6支磁控濺射靶槍?zhuān)?個(gè)工位；
5 靶槍濺鍍距離可調，可升級強磁靶；
6 防交叉污染遮板設計；
7 可配備樣品預清洗功能；
8 可配備快速進(jìn)樣室；
9 可配備自動(dòng)壓力控制系統；
