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    超高真空磁控濺射鍍膜機

    參考價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準
    • 公司名稱(chēng)深圳海創(chuàng )德科技有限公司
    • 品       牌
    • 型       號
    • 所  在  地深圳市
    • 廠(chǎng)商性質(zhì)其他
    • 更新時(shí)間2024/9/5 10:12:16
    • 訪(fǎng)問(wèn)次數124
    產(chǎn)品標簽:

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    深圳海創(chuàng )德科技有限公司成立于2012年，由數位理工科博士創(chuàng )辦，團隊成員均為理工科博士和碩士，具有高水平的專(zhuān)業(yè)水準。公司致力于半導體微加工及分析設備的銷(xiāo)售和安裝服務(wù)，產(chǎn)品覆蓋薄膜制備，物性測量和表面分析。經(jīng)營(yíng)的主要產(chǎn)品如下：1. 磁控濺射、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂膠機和熱板等薄膜技術(shù)相關(guān)的設備；2. 美國Kimball Physics的電子槍、離子槍、真空腔體和熒光屏等部件；美國OCI的LEED和AES等各種真空組件；美國MicroXact的真空、低溫和磁場(chǎng)等數種探針臺；3. 我們還提供上述設備的配套部件及耗材，如直流和射頻電源、靶材、探針、光刻膠和ALD耗材等。我們的產(chǎn)品性?xún)r(jià)比高，品質(zhì)精良，性能，在歐美及中國臺灣地區具有的口碑，國內眾多的科研院所和大學(xué)均對我們的產(chǎn)品報以好評。我們期待以?xún)?yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，良好的服務(wù)和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)為更多的客戶(hù)提供解決方案！期待與您的合作！
    x射線(xiàn)熒光分析儀
    矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件，本底真空可達到10-9~10-10Torr量級
    超高真空磁控濺射鍍膜機 產(chǎn)品信息

    矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件，本底真空可達到10-9 ~ 10-10 Torr量級。在超高真空環(huán)境下制備出的薄膜材料含氧量低、晶粒性更為明顯，廣泛適用于超導結、量子器件和自旋電子學(xué)的研究開(kāi)發(fā)。


    技術(shù)參數：

    1 本底真空可達10-9 ~ 10-10 Torr；

    2 單基片設計，尺寸可定制；

    3 基片可旋轉并加熱：300℃/500℃/800℃；

    4 最多可拓展8支磁控濺射靶槍?zhuān)矠R射；

    5 靶槍角度可調，濺鍍距離可調，可升級強磁靶；

    6 防交叉污染隔板設計；

    7 可配備離子束輔助沉積；

    8 可配備樣品預清洗功能；

    9 可配備快速進(jìn)樣室；

    10 可配備自動(dòng)壓力控制系統；

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