深圳海創(chuàng )德科技有限公司
員1.png)
深圳海創(chuàng )德科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地深圳市
紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話(huà)：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-09-05 10:00:09瀏覽次數：188次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)矽碁科技利用PEALD和PECVD各自鍍膜的特點(diǎn)為用戶(hù)開(kāi)發(fā)了PECVDPEALD聯(lián)合鍍膜系統，用于半導體工藝中的薄膜封裝
矽碁科技利用PEALD和PECVD各自鍍膜的特點(diǎn)為用戶(hù)開(kāi)發(fā)了PECVD&PEALD聯(lián)合鍍膜系統，用于半導體工藝中的薄膜封裝。ALD技術(shù)可以制備非常薄，非常致密的薄膜，但ALD技術(shù)制備致密薄膜需要的時(shí)間比較長(cháng)，這在工業(yè)生產(chǎn)中是不能容忍的。為了克服ALD鍍膜速度慢的劣勢，將其與PECVD快速制備介質(zhì)薄膜的技術(shù)集成到一起，可以實(shí)現多種不同材料交替堆疊的薄膜結構。實(shí)踐證明，這種交替結構的薄膜封裝性能可以達到與ALD技術(shù)同等的封裝效果，同時(shí)降低了整個(gè)封裝過(guò)程占用的時(shí)間。
ALD
1 不銹鋼腔體，雙層加熱設計；
2 等離子體增強模塊集成于腔體上蓋；
3 進(jìn)口高速ALD隔膜閥；
4 12英寸基片；
5 基片加熱400℃；
6 最多可提供6路前驅物和6路工藝氣體；
7 氣路全金屬密封，并可加熱至120℃；
8 可提供前驅體鋼瓶加熱或冷卻；
9 可全自動(dòng)控制工藝過(guò)程，同時(shí)也可以手動(dòng)操作。
PECVD
1 基片尺寸可定制；
2 低溫工藝：< 150℃ / 350℃；
3 多層式工藝氣體導入，氣體分布均勻；
4 獨立MFC控制箱，可靈活擴充工藝氣路；
5 基片內鍍膜均勻性?xún)?yōu)于 ±5%；
6 可與手套箱集成；
多層薄膜封裝技術(shù)
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
紡織服裝機械網(wǎng) 設計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
